| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·新型非挥发型存储器简介 | 第9-13页 |
| ·阻变存储器的材料体系 | 第13-14页 |
| ·阻变效应机理 | 第14-19页 |
| ·阻变存储器的性能参数 | 第19页 |
| ·肖特基势垒型阻变存储器的研究进展 | 第19-20页 |
| ·课题研究的内容及主要意义 | 第20-22页 |
| 参考文献 | 第22-25页 |
| 第二章 实验方法及原理 | 第25-36页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·器件制备技术原理 | 第25-28页 |
| ·紫外光刻技术原理 | 第25-27页 |
| ·磁控溅射镀膜原理 | 第27-28页 |
| ·电学性能测试系统及原理 | 第28-34页 |
| ·电学性能测试系统 | 第28-30页 |
| ·电阻变温测量原理 | 第30-32页 |
| ·电学及阻变性能表征 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 第三章 Ag/Nb:SrTiO_3/Ti 结构的阻变性能研究 | 第36-46页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·Ag/Nb:SrTiO_3/Ti 结构的制备与表征 | 第37-38页 |
| ·实验结果及分析 | 第38-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第四章 Au/Nb:SrTiO_3/Ti 结构的阻变性能研究 | 第46-56页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·Au/Nb:SrTiO_3/Ti 结构的制备与表征 | 第46-47页 |
| ·实验结果及分析 | 第47-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-56页 |
| 第五章 基于双肖特基结结构 Ag/Nb:SrTiO_3/Au 的阻变效应研究 | 第56-64页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·Ag/Nb:SrTiO_3/Au 的阻变特性 | 第56-59页 |
| ·Ag/ Nb:SrTiO_3/Au 的器件制备 | 第56页 |
| ·Ag/ Nb:SrTiO_3/Au 的结果及分析 | 第56-59页 |
| ·退火对 Ag/Nb:SrTiO_3/Au 阻变的影响 | 第59-62页 |
| ·器件的制备 | 第59-60页 |
| ·测试结果及分析 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-64页 |
| 第六章 结论与展望 | 第64-66页 |
| ·结论 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读学位期间的论文成果 | 第67页 |
