大尺寸KDP晶体生长装置温度控制系统研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
目录 | 第6-8页 |
1 绪论 | 第8-15页 |
·课题研究背景 | 第8-9页 |
·国内外的发展与现状 | 第9-13页 |
·KDP晶体快速生长国外研究历史与现状 | 第9-11页 |
·KDP晶体快速生长国内研究历史与现状 | 第11-13页 |
·论文主要研究内容及意义 | 第13-15页 |
2 温度控制系统结构设计 | 第15-37页 |
·温度控制系统硬件构成 | 第15-19页 |
·加热方式设计 | 第16-17页 |
·循环方式设计 | 第17-19页 |
·生长槽温度场仿真 | 第19-35页 |
·计算流体力学 | 第19-21页 |
·生长槽外槽温度场仿真 | 第21-29页 |
·生长槽内槽温度场仿真 | 第29-35页 |
·本章小结 | 第35-37页 |
3 温度控制系统软件设计 | 第37-62页 |
·虚拟仪器技术 | 第37-39页 |
·温度采集实现 | 第39-41页 |
·温度数据保存实现 | 第41-42页 |
·模糊PID控制实现 | 第42-59页 |
·PID控制原理 | 第42-44页 |
·PID控制的软件实现 | 第44-45页 |
·模糊控制原理 | 第45-50页 |
·模糊PID控制的软件实现 | 第50-59页 |
·脉宽整流实现 | 第59-60页 |
·搅拌电机的速度控制实现 | 第60-61页 |
·本章小结 | 第61-62页 |
4 温度控制系统测试 | 第62-66页 |
·温度控制系统实验连线 | 第62-64页 |
·温度控制系统实验数据 | 第64-65页 |
·本章小结 | 第65-66页 |
结论 | 第66-68页 |
参考文献 | 第68-71页 |
附录A 电气原理图 | 第71-73页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
致谢 | 第74-75页 |