基于MEMS技术的压电能量采集器研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-34页 |
| ·研究背景概述 | 第12-14页 |
| ·能量采集技术简介及分析 | 第14-18页 |
| ·基于振动机械能的能量采集 | 第18-28页 |
| ·本文研究意义及主要内容 | 第28-29页 |
| 参考文献 | 第29-34页 |
| 第二章 微能量采集器结构及相关理论分析 | 第34-56页 |
| ·MPVEH 结构分析 | 第34-40页 |
| ·振动-电能转换 | 第40-48页 |
| ·压电悬臂梁机电耦合分析 | 第48-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 第三章 微能量采集器的结构参数优化设计 | 第56-77页 |
| ·有限元分析 | 第56-62页 |
| ·结构参数对器件性能的影响 | 第62-69页 |
| ·PSPICE 电路模拟分析 | 第69-74页 |
| ·本章小节 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-77页 |
| 第四章 微能量采集器的MEMS 制作工艺 | 第77-99页 |
| ·能量采集器MEMS 工艺流程 | 第77-81页 |
| ·PZT 压电薄膜材料的制备 | 第81-85页 |
| ·MEMS 基本工艺过程 | 第85-92页 |
| ·工艺讨论和改进方案 | 第92-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-99页 |
| 第五章 微能量采集器性能测试与分析 | 第99-123页 |
| ·测试系统 | 第99-100页 |
| ·MPVEH 性能测试 | 第100-105页 |
| ·测试结果及分析 | 第105-114页 |
| ·性能提高方案研究 | 第114-120页 |
| ·应用初步探讨 | 第120-121页 |
| ·本章小结 | 第121-122页 |
| 参考文献 | 第122-123页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第123-126页 |
| ·论文研究工作总结 | 第123-125页 |
| ·本文创新点小结 | 第125页 |
| ·未来工作展望 | 第125-126页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和专利 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127页 |
