| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-14页 |
| 1 绪论 | 第14-35页 |
| ·前言 | 第14-15页 |
| ·脉冲激光沉积技术及其工艺特点 | 第15-17页 |
| ·脉冲激光沉积动力学的理论研究进展 | 第17-21页 |
| ·飞秒脉冲激光烧蚀动力学的理论研究进展 | 第21-23页 |
| ·飞秒激光与纳秒激光烧蚀特点的比较 | 第23-25页 |
| ·飞秒激光诱导材料表面产生的周期性结构 | 第25-31页 |
| ·本文研究的主要目的和内容 | 第31-35页 |
| 2 紫外高能纳秒脉冲激光烧蚀金属的热动力学研究 | 第35-50页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·纳秒脉冲激光烧蚀的物理图像 | 第35-37页 |
| ·烧蚀过程中动态吸收率 | 第37-40页 |
| ·蒸发效应 | 第40-41页 |
| ·单组分靶材的等离子屏蔽效应 | 第41-42页 |
| ·烧蚀阶段的细分与改进的烧蚀理论模型 | 第42-45页 |
| ·紫外激光辐照下铁靶材温度的三维变化图 | 第45-46页 |
| ·三种热传导模型下的靶材温度演化分布规律比较 | 第46-47页 |
| ·烧蚀深度随激光能量密度的演化规律 | 第47-48页 |
| ·小结 | 第48-50页 |
| 3 红外高能纳秒激光与钇钡铜氧靶材的相互作用研究 | 第50-61页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·多组分靶材的等离子屏蔽效应 | 第50-52页 |
| ·高能激光烧蚀多组分氧化物超导体的烧蚀模型 | 第52-54页 |
| ·靶材表面的蒸发现象 | 第54-56页 |
| ·等离子体的形成以及等离子体屏蔽 | 第56-58页 |
| ·不同激光能量密度下的单脉冲激光烧蚀率 | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 4 描述从纳秒到飞秒的脉冲激光烧蚀的非傅立叶统一双温模型 | 第61-71页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·非傅立叶定律的理论解释 | 第61-62页 |
| ·非傅立叶统一双温模型 | 第62-67页 |
| ·电子和晶格亚系统的温度随时间和位置的演化 | 第67-68页 |
| ·蒸发阈值随脉宽的演化 | 第68-69页 |
| ·小结 | 第69-71页 |
| 5 飞秒激光的脉冲宽度和能量密度对电声驰豫时间的影响 | 第71-79页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·飞秒脉冲激光的烧蚀机制 | 第71-72页 |
| ·考虑电子—声子碰撞的传统TTM方程 | 第72-73页 |
| ·电声驰豫时间的解析解 | 第73-74页 |
| ·电声驰豫时间的数值解 | 第74-76页 |
| ·脉冲宽度对电声驰豫时间的影响 | 第76页 |
| ·激光能量密度对电声驰豫时间的影响 | 第76-78页 |
| ·小结 | 第78-79页 |
| 6 改进的双温方程以及在飞秒激光烧蚀中的应用 | 第79-90页 |
| ·引言 | 第79页 |
| ·电子热容和热导率随靶材温度的变化 | 第79-80页 |
| ·吸收率和吸收系数随靶材温度的变化 | 第80-83页 |
| ·改进的双温方程 | 第83-86页 |
| ·靶材表面的电子和晶格亚系统随时间的演化规律 | 第86页 |
| ·靶材内的电子和晶格亚系统随时间和烧蚀深度的三维变化规律 | 第86-89页 |
| ·小结 | 第89-90页 |
| 7 电子态密度效应对飞秒激光烧蚀的影响 | 第90-103页 |
| ·引言 | 第90-91页 |
| ·电子态密度效应对热物理参数的影响 | 第91-95页 |
| ·光物理参数随温度的变化 | 第95-96页 |
| ·考虑电子态密度效应的双温方程 | 第96-97页 |
| ·靶材表面电子和晶格亚系统的温度随时间的演化规律 | 第97-98页 |
| ·过渡金属Ni的电声驰豫时间随激光能量密度的变化 | 第98-99页 |
| ·贵重金属Au的电声驰豫时间随激光能量密度的变化 | 第99-100页 |
| ·过渡金属Ni和贵重金属Au的超快融化过程 | 第100-101页 |
| ·小结 | 第101-103页 |
| 8 结论与展望 | 第103-107页 |
| ·总结 | 第103-104页 |
| ·本文的创新之处 | 第104-105页 |
| ·展望 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-120页 |
| 附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第120-122页 |
