自检测压电微传感器灵敏度优化及并行探测技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-26页 |
| ·压电微传感器发展现状 | 第13-17页 |
| ·压电陶瓷材料的发展 | 第13-14页 |
| ·锆钛酸铅薄膜制备技术 | 第14-16页 |
| ·基于锆钛酸铅薄膜的压电微传感器 | 第16-17页 |
| ·微悬臂梁阵列并行检测系统 | 第17-21页 |
| ·并行检测系统的发展 | 第18-20页 |
| ·PZT薄膜压电微传感器阵列 | 第20-21页 |
| ·致动型PZT薄膜器件 | 第21-23页 |
| ·MEMS变形镜微致动器 | 第21-22页 |
| ·全光纤相位调制器 | 第22-23页 |
| ·本论文的研究意义及构成 | 第23-26页 |
| ·本博士论文的研究目标和意义 | 第23-24页 |
| ·本博士论文的构成 | 第24-26页 |
| 第二章 压电微悬臂梁灵敏度优化 | 第26-49页 |
| ·压电微传感器的检测分辨率 | 第26-36页 |
| ·谐振式压电微传感器的等效模型 | 第27-28页 |
| ·压电微悬臂梁的机械参数 | 第28-32页 |
| ·力探测分辨率 | 第32-33页 |
| ·质量检测分辨率 | 第33-34页 |
| ·提高检测分辨率的方法 | 第34-36页 |
| ·压电微悬臂梁的压电电荷输出 | 第36-42页 |
| ·压电物理学基础 | 第36-38页 |
| ·压电电荷量的有限单元法计算 | 第38-42页 |
| ·压电微悬臂梁的灵敏度优化 | 第42-47页 |
| ·力探测压电微悬臂梁的灵敏度 | 第43-45页 |
| ·质量检测压电微悬臂梁的灵敏度 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第三章 高性能PZT薄膜快速制备与微传感器加工 | 第49-66页 |
| ·高性能PZT薄膜的快速制备技术 | 第49-58页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第49-52页 |
| ·快速热处理 | 第52-55页 |
| ·镍酸镧种子层在PZT薄膜制备中的应用 | 第55-58页 |
| ·PZT压电微悬臂梁阵列加工 | 第58-64页 |
| ·加工流程 | 第59-60页 |
| ·关键工艺研究 | 第60-64页 |
| ·微悬臂梁的内应力与断裂机制 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第四章 微弱压电信号并行检测技术 | 第66-80页 |
| ·PZT压电薄膜自驱动-自检测基础 | 第66-68页 |
| ·自驱动-自检测的物理原理 | 第66-67页 |
| ·等效电路 | 第67-68页 |
| ·信号特征与检测需求 | 第68页 |
| ·差动电荷放大电路 | 第68-75页 |
| ·差动电荷放大原理 | 第68-70页 |
| ·精度分析与系统设计 | 第70-72页 |
| ·电路实现 | 第72-75页 |
| ·并行驱动与并行检测 | 第75-79页 |
| ·系统的并行工作模式 | 第75-76页 |
| ·基于多路选择器的复用技术 | 第76-77页 |
| ·基于谐振频率检测的并行工作模式 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 PZT压电微悬臂梁并行探测系统 | 第80-92页 |
| ·PZT压电微悬臂梁性能测试 | 第80-87页 |
| ·针尖-样品的纳米逼近 | 第80-81页 |
| ·力曲线测量 | 第81-84页 |
| ·图像扫描实验 | 第84-86页 |
| ·并行扫描中的问题 | 第86-87页 |
| ·压电微传感器阵列并行质量检测 | 第87-89页 |
| ·液体环境下的PZT压电悬臂梁 | 第89-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第六章 致动型PZT薄膜器件应用 | 第92-113页 |
| ·基于PZT薄膜的变形镜微致动器 | 第92-97页 |
| ·PZT薄膜微致动器结构优化 | 第93-95页 |
| ·PZT微致动器加工方法 | 第95-96页 |
| ·PZT薄膜微致动器阵列性能测试 | 第96-97页 |
| ·全光纤相位调制器 | 第97-110页 |
| ·全光纤相位调制器模型 | 第97-103页 |
| ·全光纤相位调制器参数优化 | 第103-105页 |
| ·PZT全光纤相位调制器的加工及其性能 | 第105-110页 |
| ·本章小节 | 第110-111页 |
| 附录 | 第111-113页 |
| 第七章 总结与展望 | 第113-117页 |
| ·本论文的主要结论及展望 | 第113-115页 |
| ·本论文的创新之处 | 第115-117页 |
| 参考文献 | 第117-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 攻读博士学位期间论文发表情况 | 第129-130页 |
