| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·透明导电薄膜简介 | 第10-12页 |
| ·透明导电薄膜的概述和种类 | 第10-11页 |
| ·透明导电薄膜的研究现状和发展方向 | 第11-12页 |
| ·ZAO透明导电薄膜概述 | 第12-14页 |
| ·ZAO薄膜的晶形结构 | 第12-13页 |
| ·ZAO薄膜的导电机理 | 第13页 |
| ·ZAO透明导电薄膜的性质 | 第13-14页 |
| ·ZAO透明导电薄膜的应用与前景 | 第14页 |
| ·ZAO透明导电薄膜的国内外研究情况 | 第14-17页 |
| ·国内研究现状 | 第15-16页 |
| ·国外研究现状 | 第16-17页 |
| ·ZAO透明导电薄膜的制备方法 | 第17-18页 |
| ·磁控溅射法 | 第17页 |
| ·喷雾热分解法 | 第17页 |
| ·化学气相沉积法 | 第17页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第17-18页 |
| ·分子束外延法 | 第18页 |
| ·真空蒸镀法 | 第18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18页 |
| ·溶胶-凝胶法制备ZAO透明导电薄膜 | 第18-21页 |
| ·溶胶-凝胶薄膜的原理和工艺 | 第18-20页 |
| ·溶胶-凝胶的特点 | 第20页 |
| ·溶胶-凝胶工艺对ZAO薄膜的影响 | 第20-21页 |
| ·本文研究的背景和主要内容 | 第21-22页 |
| 2 制备及研究方法 | 第22-30页 |
| ·实验方法 | 第22-26页 |
| ·ZAO_p/ZAO薄膜的制备方法 | 第23-24页 |
| ·ZAO溶胶的制备方法 | 第24-25页 |
| ·ZAO粉体的制备方法 | 第25-26页 |
| ·实验方案 | 第26-27页 |
| ·ZAO粉体和溶胶体系的设计方案 | 第26-27页 |
| ·制备薄膜的设计方案 | 第27页 |
| ·实验原料及设备 | 第27-28页 |
| ·实验原料 | 第27页 |
| ·实验设备 | 第27-28页 |
| ·检测方法及设备 | 第28-30页 |
| ·检测方法 | 第28-29页 |
| ·测试设备 | 第29-30页 |
| 3 不同工艺制备的ZAO粉体和溶胶的研究 | 第30-39页 |
| ·ZAO粉体制备工艺及团聚分析 | 第30-31页 |
| ·ZAO粉体制备工艺 | 第30页 |
| ·粉体的团聚分析 | 第30-31页 |
| ·ZAO粉体的检测 | 第31-34页 |
| ·XRD分析 | 第31-32页 |
| ·TEM分析 | 第32-33页 |
| ·掺Al含量对粉体的导电性的影响 | 第33-34页 |
| ·溶胶的制备和分析 | 第34-37页 |
| ·溶胶稳定性的分析 | 第34-35页 |
| ·凝胶的差热分析 | 第35-36页 |
| ·溶胶的红外分析 | 第36-37页 |
| ·掺粉量对溶胶稳定性的影响 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 4 ZAO_P/ZAO薄膜制备工艺 | 第39-48页 |
| ·不同溶剂制备的ZAO_P/ZAO薄膜的XRD图 | 第39-40页 |
| ·ZAO薄膜和ZAO_P/ZAO薄膜的研究 | 第40-42页 |
| ·ZAO薄膜和ZAO_P/ZAO薄膜的物相分析 | 第40页 |
| ·ZAO薄膜和ZAO_P/ZAO薄膜的表面形貌分析 | 第40-41页 |
| ·ZAO薄膜和ZAO_P/ZAO薄膜光电性能的研究 | 第41-42页 |
| ·三种不同状态的ZAO_P/ZAO薄膜制备 | 第42-44页 |
| ·不同ZAO_P/ZAO薄膜物相和形貌的研究 | 第42-43页 |
| ·不同ZAO_P/ZAO薄膜光电性能的研究 | 第43-44页 |
| ·ZAO_P/ZAO薄膜制备工艺的研究 | 第44-47页 |
| ·溶胶浓度对薄膜XRD的影响 | 第44-45页 |
| ·干燥温度对薄膜XRD的影响 | 第45-46页 |
| ·热处理温度对薄膜XRD的影响 | 第46-47页 |
| ·AL掺杂量对ZAO_P/ZAO薄膜导电性的影响 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 ZAO_P/ZAO薄膜性能的研究 | 第48-57页 |
| ·薄膜的表面形貌 | 第48-52页 |
| ·溶胶浓度对薄膜表面形貌的分析 | 第48页 |
| ·热处理温度对薄膜表面形貌的分析 | 第48-50页 |
| ·热处理时间对薄膜表面形貌的分析 | 第50页 |
| ·涂覆层数对薄膜表面形貌的分析 | 第50-51页 |
| ·薄膜断貌的分析 | 第51-52页 |
| ·薄膜的电学性能 | 第52-53页 |
| ·热处理温度对导电性的影响 | 第52-53页 |
| ·热处理时间对导电性的影响 | 第53页 |
| ·薄膜的光学性能 | 第53-55页 |
| ·热处理温度对薄膜光学性能的影响 | 第53-54页 |
| ·热处理时间对薄膜光学性能的影响 | 第54-55页 |
| ·薄膜层数对薄膜光学性能的影响 | 第55页 |
| ·薄膜附着力的测试 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 双疏型ZAO_P/ZAO薄膜 | 第57-62页 |
| ·双疏型薄膜的制备 | 第57-58页 |
| ·双疏型薄膜的疏水疏油机理 | 第57页 |
| ·双疏型薄膜的制备工艺 | 第57-58页 |
| ·双疏型薄膜的研究 | 第58-60页 |
| ·FAS含量对接触角的影响 | 第58-59页 |
| ·涂覆层数对接触角的影响 | 第59-60页 |
| ·干燥方式对接触角的影响 | 第60页 |
| ·双疏型ZAO_P/ZAO薄膜的性能分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 7 结论及展望 | 第62-64页 |
| ·结论 | 第62-63页 |
| ·展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |