硅微悬臂梁探针的制备工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·悬臂梁探针的概述 | 第10-14页 |
| ·悬臂梁探针与纳米科技 | 第10页 |
| ·悬臂梁探针在扫描探针显微镜中的应用 | 第10-14页 |
| ·悬臂梁探针的国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·本课题的研究意义及内容 | 第17-19页 |
| 2 硅微悬臂梁探针制备的基础理论 | 第19-32页 |
| ·微悬臂梁探针相关理论 | 第19-23页 |
| ·微悬臂梁探针变形检测方式 | 第19-20页 |
| ·微悬臂梁探针的工作模式 | 第20-21页 |
| ·微悬臂梁探针结构及要求 | 第21-23页 |
| ·微悬臂梁探针的材料 | 第23页 |
| ·硅晶体基本理论 | 第23-25页 |
| ·硅晶体结构及性能 | 第23-24页 |
| ·晶面参数 | 第24-25页 |
| ·硅微机械加工方法 | 第25-31页 |
| ·湿法各向异性腐蚀 | 第25-28页 |
| ·湿法各向同性腐蚀 | 第28-29页 |
| ·干法刻蚀 | 第29-30页 |
| ·硅的氧化 | 第30-31页 |
| ·溅射 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 硅尖的制备工艺研究 | 第32-48页 |
| ·湿法各向异性腐蚀制备硅尖 | 第32-44页 |
| ·湿法腐蚀硅尖时间的控制 | 第33-35页 |
| ·硅尖的锐化削尖 | 第35-37页 |
| ·硅尖晶面类型的判别方法 | 第37-39页 |
| ·腐蚀液浓度对硅尖形状的影响 | 第39-41页 |
| ·添加剂对硅尖形状的影响 | 第41-42页 |
| ·掩模偏转对硅尖形状的影响 | 第42-43页 |
| ·矩形掩模对硅尖形状的影响 | 第43-44页 |
| ·干法刻蚀制备硅尖 | 第44-47页 |
| ·DRIE刻蚀硅尖 | 第45-46页 |
| ·ICP刻蚀硅尖 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 4 硅微悬臂梁探针的制备工艺研究 | 第48-65页 |
| ·硅微悬臂梁探针的制备工艺方案设计及优化 | 第48-60页 |
| ·硅微悬臂梁探针的工艺方案设计 | 第48-50页 |
| ·硅微悬臂梁探针的结构及掩膜版图设计 | 第50-52页 |
| ·制备硅微悬臂梁探针的关键工艺研究 | 第52-56页 |
| ·工艺中存在的问题及解决方法 | 第56-59页 |
| ·优化工艺流程及版图结构 | 第59-60页 |
| ·湿法腐蚀制备硅微悬臂梁探针 | 第60-61页 |
| ·干法刻蚀制备硅微悬臂梁探针 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
