压阻式微加速度计的误差机理分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题研究意义 | 第9-10页 |
| ·研究现状概述 | 第10-15页 |
| ·压阻式微加速度计的国内外研究现状 | 第10-14页 |
| ·加速度计误差与标定方法的国内外研究现状 | 第14-15页 |
| ·主要研究工作 | 第15-16页 |
| 第2章 压阻式微加速度计系统的分析与求解 | 第16-37页 |
| ·压阻式微加速度计系统的分析 | 第16-25页 |
| ·压阻式微加速度计的数学模型 | 第16-17页 |
| ·四边八梁-质量块结构的挠度与应力 | 第17-19页 |
| ·四边八梁-质量块结构固有频率的求解 | 第19-21页 |
| ·压阻式微加速度计中的平板阻尼 | 第21-25页 |
| ·压阻式微加速度计系统的求解 | 第25-35页 |
| ·正弦载荷下系统的输出 | 第25-28页 |
| ·低量程压阻式微加速度计实例的求解 | 第28-32页 |
| ·矩形冲击载荷下系统的输出 | 第32-33页 |
| ·高量程压阻式微加速度计实例的求解 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 压阻式微加速度计的工艺误差机理分析 | 第37-75页 |
| ·材料的选择对微加速度计测量精度的影响 | 第37-50页 |
| ·不同类型硅材料的影响 | 第37-41页 |
| ·材料厚度偏差的单项误差模型 | 第41-48页 |
| ·材料力学性能稳定性的单项误差模型 | 第48-50页 |
| ·压敏电阻的设计偏差对微加速度计测量精度的影响 | 第50-63页 |
| ·不同结构的压敏电阻 | 第50-52页 |
| ·不同结构的压敏电阻对微加速度计性能的影响 | 第52-57页 |
| ·压敏电阻放置位置的单项误差模型 | 第57-59页 |
| ·压敏电阻阻值的单项误差模型 | 第59-63页 |
| ·主要工艺步骤对微加速度计测量精度的影响 | 第63-74页 |
| ·第一次背腔腐蚀精度的单项误差模型 | 第63-66页 |
| ·凸角补偿精度的单项误差模型 | 第66-69页 |
| ·玻璃刻蚀精度的单项误差模型 | 第69-71页 |
| ·梁尺寸偏差对微加速度计测量精度的影响 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第4章 压阻式微加速度计的环境条件误差机理分析 | 第75-83页 |
| ·压阻式微加速度计的环境温度误差 | 第75-79页 |
| ·温度对压敏电阻的影响 | 第75-76页 |
| ·微加速度计的温度单项误差模型 | 第76-78页 |
| ·温度补偿方法 | 第78-79页 |
| ·压阻式微加速度计的环境振动误差 | 第79-81页 |
| ·环境振动对微加速度计测量精度的影响 | 第79-80页 |
| ·微加速度计的振动单项误差模型 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-83页 |
| 第5章 压阻式微加速度计误差模型的验证 | 第83-107页 |
| ·高低量程三轴压阻式微加速度计的结构设计 | 第83-88页 |
| ·结构参数的确定 | 第83-86页 |
| ·性能仿真与分析 | 第86-87页 |
| ·压敏电阻与电桥连接 | 第87-88页 |
| ·高低量程压阻式三轴微加速度计的工艺设计 | 第88-94页 |
| ·工艺流程 | 第88-91页 |
| ·版图设计 | 第91-94页 |
| ·高低量程三轴压阻式微加速度计的加工与制作 | 第94-97页 |
| ·高低量程三轴压阻式微加速度计的测试 | 第97-106页 |
| ·单项误差模型的估算实验 | 第97-103页 |
| ·综合误差的验证实验 | 第103-106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 第6章 总结 | 第107-110页 |
| 研究工作总结 | 第107-108页 |
| 本文的特色 | 第108-109页 |
| 工作展望 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-114页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的成果 | 第114-116页 |
| 致谢 | 第116页 |
