| 第一章 绪论 | 第1-17页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第13-14页 |
| ·国内外隔振技术的发展和研究 | 第14-16页 |
| ·被动隔振技术 | 第14页 |
| ·主动隔振技术 | 第14-15页 |
| ·精密加工及精密测量中的隔振研究 | 第15-16页 |
| ·课题研究目标及主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 振动被动隔离技术的基本理论及隔振机理 | 第17-22页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·被动隔振系统理论 | 第17-22页 |
| ·单级被动隔振系统 | 第17-19页 |
| ·两级被动隔振系统 | 第19-22页 |
| 第三章 微纳米测量隔振系统的被动隔振设计 | 第22-31页 |
| ·微纳米测量被动隔振系统的整体结构 | 第22-25页 |
| ·被动隔振材料及器件的选择 | 第25-26页 |
| ·制冷腔隔振分析 | 第26-27页 |
| ·测量工作台隔振系统分析 | 第27-31页 |
| 第四章 测振系统的设计及被动隔振系统隔振性能测试与分析 | 第31-42页 |
| ·振动传感器的选择 | 第31-34页 |
| ·电动动圈惯性式传感器 | 第31页 |
| ·动圈直接驱动式传感器 | 第31-32页 |
| ·动磁式传感器 | 第32页 |
| ·压电式传感器 | 第32-33页 |
| ·ICP型加速度传感器 | 第33-34页 |
| ·振动传感器信号的采集及分析 | 第34-42页 |
| ·虚拟仪器及LabVIEW | 第34-35页 |
| ·数据采集卡的选取 | 第35-36页 |
| ·测试分析软件设计 | 第36-37页 |
| ·测量结果分析 | 第37-42页 |
| 第五章 主/被动混合隔振系统的研究 | 第42-57页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·主动隔振系统理论 | 第42-45页 |
| ·单级主动隔振系统 | 第43页 |
| ·两级主动隔振系统 | 第43-45页 |
| ·主动隔振器件 | 第45页 |
| ·两级隔振系统主动隔振作动器安装方式 | 第45-46页 |
| ·测量工作台的主动隔振的结构设计 | 第46页 |
| ·模糊控制理论介绍 | 第46-52页 |
| ·模糊控制理论及其发展 | 第46-47页 |
| ·模糊控制的基本原理 | 第47-48页 |
| ·模糊控制系统的组成 | 第48-49页 |
| ·输入模糊化 | 第49-50页 |
| ·模糊推理决策 | 第50-51页 |
| ·解模糊 | 第51-52页 |
| ·隔振系统整体的动力学模型及模糊控制器设计 | 第52-54页 |
| ·隔振系统的MATLAB仿真 | 第54-55页 |
| ·仿真结论 | 第55-57页 |
| 第六章 结论及展望 | 第57-59页 |
| ·课题总结 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第62页 |