| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·BaTiO_3 系正温度系数半导体陶瓷 | 第8-12页 |
| ·BaTiO_3 系半导体陶瓷的欧姆接触电极 | 第12-17页 |
| ·本文研究目的及研究内容 | 第17-19页 |
| 2 直流磁控溅射法制备半导瓷薄膜电极 | 第19-26页 |
| ·直流磁控溅射镀膜原理 | 第19-22页 |
| ·磁控溅射制备半导瓷薄膜电极设备及制备工艺流程 | 第22-26页 |
| 3 磁控溅射制备半导瓷薄膜电极成膜机理及影响因素 | 第26-37页 |
| ·磁控溅射薄膜成膜机理 | 第26-28页 |
| ·BaTiO_3系PTC 半导瓷薄膜电极力学性质 | 第28-30页 |
| ·BaTiO_3系PTC 半导瓷薄膜电极靶材选择 | 第30-32页 |
| ·BaTiO_3系PTC 半导瓷薄膜电极制备影响因素 | 第32-37页 |
| 4 直流磁控溅射半导瓷薄膜电极性能研究 | 第37-51页 |
| ·BaTiO_3系PTC 半导瓷的特性 | 第37-40页 |
| ·直流磁控溅射工艺参数对PTC 马达启动元件电性能的影响 | 第40-44页 |
| ·直流磁控溅射制备PTC 马达启动元件最佳工艺参数优化 | 第44-47页 |
| ·PTC 马达启动元件镍铬合金电极的微观结构 | 第47-51页 |
| 5 不同工艺及材料制备的半导瓷薄膜电极性能对比 | 第51-57页 |
| ·不同工艺及材料制备底电极的半导瓷元件电学性能对比 | 第51-54页 |
| ·不同工艺及材料制备的半导瓷薄膜电极附着力对比 | 第54页 |
| ·不同工艺及材料制备的半导瓷薄膜电极成本对比 | 第54-57页 |
| 6 结论与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64页 |
