透反射率测量仪自动化硬件研制

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-7页
第一章 绪论	第7-15页
·透反射率测量技术的发展现状	第7-13页
·开展本课题研究的目的与意义	第13页
·本论文研究的内容和创新点	第13-15页
第二章 透反射率自动化测量系统的总体设计	第15-19页
·DF 透反仪测量原理	第15-16页
·透反射率自动化测量系统的测量原理	第16-19页
第三章 光学系统和光电探测器	第19-26页
·光学系统的总体设计	第19-20页
·聚焦系统的设计	第20-22页
·光电探测器	第22-26页
第四章 光电前置放大电路与数据采集和处理部分	第26-33页
·光电前置放大电路的设计	第26-29页
·数据采集卡与信号布线分析	第29-31页
·串扰现象分析与解决	第31-33页
第五章 样品台与同轴校正系统	第33-39页
·样品台的设计	第33-34页
·同轴校正原理和实现	第34-39页
第六章 自动化控制工作流程及其软件简介	第39-44页
·自动化控制工作流程	第39-41页
·自动化控制软件简介	第41-44页
第七章 误差分析和实验研究	第44-49页
·误差分析	第44-46页
·透反射率测量试验	第46-49页
第八章 总结与展望	第49-51页
·总结	第49-50页
·课题展望	第50-51页
致谢	第51-52页
参考文献表	第52-53页