| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·铁电体及铁电薄膜的发展历史及应用前景 | 第12-15页 |
| ·铁电薄膜的发展历史 | 第12-13页 |
| ·铁电薄膜的性质和应用 | 第13-15页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第15-16页 |
| ·锆钛酸铅和钛酸铋钕铁电体 | 第16-19页 |
| ·薄膜中的残余应力 | 第19-21页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第21-23页 |
| ·铁电薄膜材料的研究现状 | 第21页 |
| ·本文的选题依据 | 第21-22页 |
| ·本文的主要工作 | 第22-23页 |
| 第二章 BNT 铁电薄膜的CSD 法制备 | 第23-29页 |
| ·薄膜的CSD 制备法 | 第23-24页 |
| ·CSD 法简介 | 第23页 |
| ·金属化合物的选择 | 第23-24页 |
| ·CSD 法制膜设备及环境要求 | 第24-25页 |
| ·制膜设备 | 第24页 |
| ·匀胶机工作条件 | 第24页 |
| ·环境要求 | 第24-25页 |
| ·CSD 法制备BNT 薄膜 | 第25-29页 |
| ·实验原料 | 第25页 |
| ·前驱体溶液的制备 | 第25页 |
| ·衬底清洗 | 第25页 |
| ·前驱体溶液的热分析 | 第25-27页 |
| ·甩带涂层 | 第27页 |
| ·退火 | 第27-29页 |
| 第三章 BNT 薄膜的微观结构与铁电性能分析 | 第29-42页 |
| ·BNT 薄膜的微观结构和铁电性能测试方法 | 第29-32页 |
| ·微观结构测试方法 | 第29页 |
| ·铁电性能测试方法 | 第29-32页 |
| ·不同退火温度BNT 薄膜的微观结构和铁电性能 | 第32-36页 |
| ·空气中不同退火温度 BNT 薄膜的微观结构与铁电性能 | 第33-35页 |
| ·氧气中不同退火温度 BNT 薄膜的微观结构与铁电性能 | 第35-36页 |
| ·不同退火时间BNT 薄膜的铁电性能 | 第36-38页 |
| ·不同甩膜次数BNT 薄膜的微观结构和铁电性能 | 第38-40页 |
| ·BNT 薄膜的抗疲劳性能 | 第40页 |
| ·小结 | 第40-42页 |
| 第四章 BNT 薄膜残余应力的XRD 测量及分析 | 第42-51页 |
| ·传统sin~2ψ法测量薄膜残余应力的原理 | 第42-44页 |
| ·由CSD 法制备的BNT 铁电薄膜的残余应力 | 第44-47页 |
| ·纳米压痕法测薄膜的杨氏模量 | 第44-45页 |
| ·传统sin~2ψ法测量BNT 薄膜残余应力 | 第45-47页 |
| ·残余应力对BNT 薄膜铁电性能的影响 | 第47-49页 |
| ·小结 | 第49-51页 |
| 第五章 PZT 铁电薄膜残余应力的 XRD 测量及分析 | 第51-65页 |
| ·扩展sin~2ψ法 | 第51-53页 |
| ·取向平均模型 | 第53-58页 |
| ·界面单胞的应变 | 第53-56页 |
| ·应变的坐标转换 | 第56-57页 |
| ·应变取向平均 | 第57页 |
| ·压电本构方程 | 第57页 |
| ·电场边值条件 | 第57-58页 |
| ·残余应力的表达式 | 第58页 |
| ·CSD 法制备的PZT 铁电薄膜的残余应力 | 第58-63页 |
| ·取向平均模型测量PZT 薄膜界面处残余应力 | 第58-61页 |
| ·sin~2ψ法测量PZT 薄膜残余应力 | 第61-63页 |
| ·小结 | 第63-65页 |
| 总结和展望 | 第65-67页 |
| 论文总结 | 第65-66页 |
| 工作展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士期间已公开发表的论文 | 第73页 |
