通信用中频声表面波滤波器的研制

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
1 绪论	第8-17页
·声表面波	第8页
·声表面波器件	第8-10页
·声表面波滤波器的分类	第10-12页
·声表面波器件的应用	第12-13页
·声表面波滤波器技术发展趋势	第13-15页
·课题来源、研究意义及内容	第15-17页
2 声表面波滤波器的工作原理	第17-34页
·横向滤波器的工作原理	第17-26页
·谐振器构成的滤波器工作原理	第26-34页
3 声表面波滤波器的设计研究	第34-46页
·横向滤波器设计的理论基础	第34-39页
·中频声表面波滤波器的设计研究	第39-46页
4 声表面波滤波器工艺研究	第46-56页
·工艺流程	第46页
·清洗工艺	第46-48页
·镀膜工艺	第48-50页
·光刻工艺	第50-52页
·腐蚀工艺	第52-53页
·封装工艺	第53-56页
5 声表面波滤波器的性能分析	第56-60页
·声表面波滤波器性能的测试	第56-57页
·测试结果	第57页
·影响滤波器性能的分析	第57-60页
6 总结与展望	第60-64页
·本文工作总结	第60-61页
·前景展望	第61-64页
致谢	第64-65页
参考文献	第65-70页
附录1 攻读硕士学位器件发表学术论文目录	第70-71页
附录2 声表面波滤波器仿真源程序	第71-75页