氮化锌粉末和薄膜的制备及特性研究
| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-15页 |
| 符号表 | 第15-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-33页 |
| §1.1 概述 | 第17-22页 |
| §1.2 氮化锌材料的研究进展 | 第22-25页 |
| §1.3 氮化锌材料的性质 | 第25-31页 |
| ·结构性质 | 第25页 |
| ·电学性质 | 第25-28页 |
| ·光学性质 | 第28-31页 |
| §1.4 研究课题的选取 | 第31-33页 |
| 第二章 样品的制备及测试 | 第33-47页 |
| §2.1 氮化锌粉末的制备 | 第33-34页 |
| §2.2 氮化锌薄膜的制备 | 第34-41页 |
| §2.2.1 射频磁控溅射系统 | 第34-36页 |
| §2.2.2 溅射基本原理 | 第36-40页 |
| §2.2.3 氮化锌靶的制备 | 第40页 |
| §2.2.4 衬底的选择与处理 | 第40页 |
| §2.2.5 氮化锌薄膜的制备 | 第40-41页 |
| §2.3 测试方法介绍 | 第41-47页 |
| §2.3.1 结构和成份测试分析 | 第41-42页 |
| §2.3.2 表面形貌的观测 | 第42-44页 |
| §2.3.3 光学性质的测量 | 第44-46页 |
| §2.3.4 薄膜电学性质测量 | 第46页 |
| §2.3.5 热分析技术 | 第46-47页 |
| 第三章 氮化锌粉末结构特性研究 | 第47-71页 |
| §3.1 氮化锌粉末的制备 | 第47-50页 |
| §3.2 氮化锌粉末的结构与成分 | 第50-62页 |
| ·X-射线衍射谱 | 第50-51页 |
| ·氮化锌晶体结构的计算机模拟 | 第51-55页 |
| ·傅立叶红外吸收光谱 | 第55-57页 |
| ·X-射线光电子能谱 | 第57-61页 |
| ·拉曼(Raman)光谱 | 第61-62页 |
| §3.3 氮化锌粉末的表面形貌 | 第62-71页 |
| 第四章 氮化锌粉末的稳定性研究 | 第71-87页 |
| §4.1 氮化锌粉末在空气气氛中的热稳定性 | 第71-81页 |
| ·氮化锌粉末的热重分析和差热分析 | 第71-73页 |
| ·不同温度下退火样品的XRD | 第73-76页 |
| ·不同温度下退火样品的XPS | 第76-78页 |
| ·不同温度下退火样品的FTIR | 第78-81页 |
| §4.2 氮化锌粉末在氮气气氛中的热稳定性 | 第81-83页 |
| §4.3 氮化锌粉末在去离子水中的稳定性 | 第83-87页 |
| ·X射线衍射谱 | 第83-84页 |
| ·傅立叶红外吸收光谱 | 第84-85页 |
| ·X射线光电子发射谱 | 第85-87页 |
| 第五章 氮化锌薄膜的结构和光学特性 | 第87-97页 |
| §5.1 氮化锌薄膜的制备 | 第87-89页 |
| §5.2 氮化锌薄膜的结构性质 | 第89-92页 |
| §5.3 氮化锌薄膜的光学性质 | 第92-97页 |
| 第六章 结论 | 第97-100页 |
| §6.1 氮化锌粉末的制备及特性研究 | 第97-98页 |
| §6.2 Zn_3N_2粉末的热稳定性研究 | 第98-99页 |
| §6.3 Zn_3N_2薄膜的性质 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-108页 |
| 博士期间发表论文情况 | 第108-113页 |
| 致谢 | 第113-114页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第114页 |
