| 中文摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 前言 | 第9-14页 |
| ·研究目的、意义 | 第9页 |
| ·国内外研究进展 | 第9-12页 |
| ·材料特性研究 | 第9-11页 |
| ·器件应用研究 | 第11-12页 |
| ·选题依据与研究内容 | 第12-14页 |
| ·选题依据 | 第12页 |
| ·研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 FeCoSiB 薄膜应力阻抗效应模拟 | 第14-27页 |
| ·应力阻抗效应的理论分析 | 第14-21页 |
| ·等效场的确定 | 第15-17页 |
| ·高频有效磁导率的求解 | 第17-21页 |
| ·应力阻抗效应的计算 | 第21-25页 |
| ·小结 | 第25-27页 |
| 第三章 FeCoSiB 单层和 FeCoSiB/Cu/FeCoSiB 多层薄膜应力阻抗性能研究 | 第27-48页 |
| ·实验 | 第27-31页 |
| ·FeCoSiB 薄膜的制备 | 第27-28页 |
| ·FeCoSiB 薄膜磁场热处理 | 第28-29页 |
| ·FeCoSiB 薄膜图形化的设计 | 第29页 |
| ·应力阻抗效应的测试方法 | 第29-31页 |
| ·研究结果与讨论 | 第31-46页 |
| ·溅射气压对 FeCoSiB 薄膜成分和应力阻抗效应的影响 | 第31-35页 |
| ·磁场热处理对FeCoSiB 薄膜性能的影响 | 第35-43页 |
| ·膜厚对薄膜应力阻抗效应的影响 | 第43-45页 |
| ·测试频率对薄膜应力阻抗效应的影响 | 第45-46页 |
| ·小结 | 第46-48页 |
| 第四章 可调平面薄膜电感制备及测试分析 | 第48-55页 |
| ·可调平面薄膜电感的设计 | 第48-50页 |
| ·可调电感的制备 | 第50页 |
| ·可调平面薄膜电感的测试分析 | 第50-54页 |
| ·测试方法 | 第51页 |
| ·测试结果与讨论 | 第51-53页 |
| ·测试频率对电感的影响 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 致谢 | 第59页 |