多晶硅太阳能电池酸腐蚀制绒研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 序 | 第8-12页 |
| 1 引言 | 第12-14页 |
| 2 太阳能发电技术 | 第14-22页 |
| ·世界光伏发电技术 | 第14-15页 |
| ·我国光伏发电技术 | 第15-22页 |
| ·“光伏大国” | 第16-17页 |
| ·“两头在外” | 第17-18页 |
| ·“突围之路” | 第18-22页 |
| 3 晶体硅太阳能电池 | 第22-52页 |
| ·晶体硅太阳能电池工作原理 | 第22-30页 |
| ·光生伏特效应 | 第22-23页 |
| ·本征半导体、P型、N型半导体 | 第23-25页 |
| ·PN结 | 第25-26页 |
| ·太阳能电池工作原理 | 第26-30页 |
| ·晶体硅太阳能电池发展 | 第30-38页 |
| ·早期的硅太阳能电池 | 第30-31页 |
| ·传统的空间太阳能电池 | 第31-32页 |
| ·背电场 | 第32页 |
| ·紫电池 | 第32-33页 |
| ·黑电池 | 第33-34页 |
| ·氧化物表面钝化 | 第34-35页 |
| ·电极接触钝化 | 第35页 |
| ·顶层表面钝化太阳能电池 | 第35-36页 |
| ·顶面和背面钝化太阳电池 | 第36-38页 |
| ·晶体硅太阳能电池生产工艺 | 第38-51页 |
| ·制绒 | 第39-40页 |
| ·扩散制结 | 第40-44页 |
| ·边缘刻蚀 | 第44-45页 |
| ·PECVD镀减反膜 | 第45-48页 |
| ·丝网印刷 | 第48-49页 |
| ·烧结 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 酸腐蚀制绒机理 | 第52-72页 |
| ·多晶硅表面处理方法 | 第52-59页 |
| ·机械刻槽 | 第52-53页 |
| ·激光刻槽 | 第53-55页 |
| ·反应离子刻蚀法(RIE) | 第55-57页 |
| ·酸腐蚀法 | 第57-59页 |
| ·酸腐蚀制绒反应机理 | 第59-62页 |
| ·氧化—溶解机制 | 第59-60页 |
| ·电化学反应 | 第60页 |
| ·反应中间产物影响机制 | 第60-62页 |
| ·酸腐蚀制绒的影响因素 | 第62-65页 |
| ·HF酸和HNO_3酸的比例对制绒的影响 | 第62-64页 |
| ·反应温度对腐蚀的影响 | 第64页 |
| ·搅拌速度对制绒的影响 | 第64页 |
| ·添加剂对制绒影响 | 第64-65页 |
| ·酸腐蚀制绒工业生产工序及生产设备 | 第65-70页 |
| ·酸腐蚀制绒生产设备 | 第65-68页 |
| ·酸腐蚀制绒生产工序 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 5 工业化HF/HNO_3/H_2O制绒体系研究 | 第72-102页 |
| ·酸腐蚀制绒影响因素研究 | 第72-88页 |
| ·酸比例及浓度对制绒效果的影响 | 第72-81页 |
| ·温度对反应速率的影响 | 第81-83页 |
| ·反应时间对制绒效果的影响 | 第83-85页 |
| ·搅拌速率对反应速率的影响 | 第85-87页 |
| ·总结 | 第87-88页 |
| ·添加剂对多晶硅制绒的影响 | 第88-94页 |
| ·添加剂对反应速率的影响 | 第88-90页 |
| ·添加剂对制绒后反射率的影响 | 第90-94页 |
| ·“网纹”形成及影响因素研究 | 第94-100页 |
| ·酸比例对“网纹”的影响 | 第94-96页 |
| ·预溶硅的量对“网纹”的影响 | 第96-98页 |
| ·温度对“网纹”的影响 | 第98-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 6 结论 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-110页 |
| 作者简历 | 第110-112页 |
| 学位论文数据集 | 第112页 |
