| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-15页 |
| ·基于热原理的MEMS流量计实现方式 | 第9-13页 |
| ·热敏感元件的实现 | 第9-10页 |
| ·工作模式的实现 | 第10页 |
| ·支撑部分的实现 | 第10页 |
| ·电路实现 | 第10-12页 |
| ·工艺实现 | 第12-13页 |
| ·封装实现 | 第13页 |
| ·本论文的主要工作 | 第13页 |
| ·结束语 | 第13-15页 |
| 第二章 风速计原理分析 | 第15-22页 |
| ·风速计的热量传递分析 | 第15-17页 |
| ·热流量传感器三种基本实现方式 | 第17-19页 |
| ·项目目标要求和设计确定 | 第19-20页 |
| ·风向的测量原理 | 第20-21页 |
| ·结论 | 第21-22页 |
| 第三章 二维集成风速计设计 | 第22-36页 |
| ·热温差风速计的分析与设计 | 第22-25页 |
| ·理论分析与设计 | 第22-23页 |
| ·温度场的计算机模拟 | 第23-24页 |
| ·有限元模拟曲线及曲线拟合 | 第24页 |
| ·结论 | 第24-25页 |
| ·热电堆的分析与设计 | 第25-29页 |
| ·硅温差电动势影响因素 | 第25-27页 |
| ·热电堆等效电路模型 | 第27-28页 |
| ·混合模拟 | 第28-29页 |
| ·结论 | 第29页 |
| ·电路分析与设计 | 第29-35页 |
| ·恒定功率模式电路的设计与分析 | 第29-31页 |
| ·恒定温差电路的实现 | 第31-32页 |
| ·信号处理电路分析与设计 | 第32-35页 |
| ·结论 | 第35-36页 |
| 第四章 CMOS集成二维热流量传感器的工艺与版图设计 | 第36-47页 |
| ·风速计的制造工艺 | 第36-44页 |
| ·具体工艺流程 | 第36-39页 |
| ·主要制备工艺流程示意图 | 第39-40页 |
| ·后腐蚀的具体工艺 | 第40-44页 |
| ·版图设计 | 第44-46页 |
| ·结论 | 第46-47页 |
| 第五章 二维风速计的测试分析与封装 | 第47-59页 |
| ·试验片的流片结果与测试 | 第47-54页 |
| ·流片的芯片照片和后处理的芯片照片 | 第47-49页 |
| ·一维试验片的测试电路与结果分析 | 第49-51页 |
| ·二维风速计的测试 | 第51-53页 |
| ·后处理芯片测试结果的比较 | 第53-54页 |
| ·封装及测试结果 | 第54-58页 |
| ·结论 | 第58-59页 |
| 第六章 结束语 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 作者简介(包括论文清单) | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-64页 |