| 摘要 | 第1-7页 |
| 第一章 、 序言 | 第7-10页 |
| ·准分子激光特性及研究 | 第7-8页 |
| ·当前准分子激光器及X eCl准分子激光器的发展现状 | 第8页 |
| ·本文主要工作 | 第8-10页 |
| 第二章 、 准分子激光原理 | 第10-25页 |
| ·准分子激光动力学方程 | 第10-12页 |
| ·X eCl准分子能级结构及激光产生机理 | 第12-15页 |
| ·X eCl准分子的光谱特性 | 第15页 |
| ·脉冲放电中的相互作用及特点 | 第15-21页 |
| ·脉冲气体放电中粒子作用的基本过程 | 第15-17页 |
| ·电子与中性粒子的相互作用 | 第17-19页 |
| ·电子与离子的相互作用 | 第19页 |
| ·离子与离子的相互作用 | 第19-21页 |
| ·离子与中性粒子的相互作用 | 第21页 |
| ·原子分子与原子分子等中性粒子之间的相互作用 | 第21页 |
| ·激发和电离过程 | 第21-25页 |
| ·电子碰撞激发和电离 | 第21-22页 |
| ·激发能量转移引起的激发 | 第22-23页 |
| ·电离激发 | 第23页 |
| ·彭宁电离 | 第23页 |
| ·分子分解激发 | 第23页 |
| ·电子能量分布 | 第23-25页 |
| 第三章 、 脉冲放电过程及特点 | 第25-29页 |
| ·气体放电的基本过程 | 第25-26页 |
| ·辉光放电实现的基本过程 | 第26页 |
| ·气体火花开关工作过程 | 第26-27页 |
| ·紫外预电离原理 | 第27-28页 |
| ·脉冲放电激光稳定输出 | 第28-29页 |
| 第四章 、 结构与设计 | 第29-64页 |
| ·X eCl准分子激光装置结构 | 第29页 |
| ·物理设计 | 第29-34页 |
| ·准分子激光器的泵浦要求 | 第29-31页 |
| ·X eCl准分子参数的计算 | 第31-32页 |
| ·准分子的泵浦强度 | 第32-33页 |
| ·X eCl准分子形成反应过程 | 第33-34页 |
| ·工程设计 | 第34-52页 |
| ·紫外预电离实现过程 | 第34-40页 |
| ·火花开关对获得短脉冲影响 | 第40-41页 |
| ·均匀放电电极的设计 | 第41-43页 |
| ·准分子激光器的光学系统 | 第43-47页 |
| ·X eCl准分子激光放电回路 | 第47-52页 |
| ·结构与设计分析 | 第52-64页 |
| ·触发电路设计 | 第52-55页 |
| ·高压ns级电路形成 | 第55-59页 |
| ·电路参数测定 | 第59-60页 |
| ·准分子激光器开腔模和衍射分析 | 第60-64页 |
| 第五章 、 实验及结果分析 | 第64-71页 |
| ·激光能量的测试 | 第65-66页 |
| ·泵浦效率 | 第66-68页 |
| ·波长测试及光脉冲脉宽测试 | 第68-70页 |
| ·气体成分与准分子激光脉冲测试 | 第70-71页 |
| 第六章 、 结论与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75页 |