| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·类金刚石膜的结构与分类 | 第9-10页 |
| ·类金刚石薄膜的生长机理 | 第10页 |
| ·吸附层模型 | 第10页 |
| ·亚表面注入生长模型 | 第10页 |
| ·类金刚石膜的制备方法 | 第10-15页 |
| ·物理气相沉积 | 第10-14页 |
| ·化学气相沉积 | 第14页 |
| ·液相法 | 第14-15页 |
| ·类金刚石碳膜的性能与应用 | 第15-16页 |
| ·机械性能与应用 | 第15-16页 |
| ·电学性能与应用 | 第16页 |
| ·光学性能与应用 | 第16页 |
| ·生物相容性与应用 | 第16页 |
| ·类金刚石膜存在的问题 | 第16-17页 |
| ·课题的提出 | 第17-20页 |
| ·金属掺杂 DLC 膜的研究现状及意义 | 第17-18页 |
| ·课题研究内容和目标 | 第18-20页 |
| 第2章 实验与测试方法 | 第20-26页 |
| ·薄膜沉积设备 | 第20-21页 |
| ·薄膜制备方法 | 第21页 |
| ·薄膜性能表征 | 第21-26页 |
| ·薄膜的结构和成分表征 | 第22-23页 |
| ·薄膜厚度和机械性能表征 | 第23-24页 |
| ·薄膜摩擦学性能表征 | 第24-26页 |
| 第3章 低浓度 Ti 掺杂 DLC 薄膜的结构及性能研究 | 第26-48页 |
| ·不同含量 Ti 掺杂 DLC 薄膜的制备及性能研究 | 第26-33页 |
| ·样品制备 | 第26页 |
| ·薄膜沉积速率和 Ti 掺杂量 | 第26-27页 |
| ·薄膜结构分析 | 第27-29页 |
| ·薄膜应力和力学性能分析 | 第29-30页 |
| ·薄膜摩擦学性能分析 | 第30-33页 |
| ·不同低含量 Ti-DLC 薄膜的制备及性能研究 | 第33-38页 |
| ·样品制备 | 第33页 |
| ·薄膜结构和成分分析 | 第33-36页 |
| ·薄膜应力和力学性能分析 | 第36-37页 |
| ·薄膜摩擦学性能分析 | 第37-38页 |
| ·偏压对低含量 Ti 掺杂 DLC 薄膜结构及性能的影响 | 第38-44页 |
| ·样品制备 | 第38-39页 |
| ·薄膜中 Ti 含量分析 | 第39页 |
| ·薄膜结构分析 | 第39-42页 |
| ·薄膜应力和力学性能分析 | 第42页 |
| ·薄膜摩擦学性能分析 | 第42-44页 |
| ·测试条件对薄膜摩擦学性能的影响 | 第44-48页 |
| ·载荷对薄膜摩擦学性能的影响 | 第44-45页 |
| ·摩擦速度对薄膜摩擦学性能的影响 | 第45-46页 |
| ·不同对偶材料对薄膜摩擦学性能的影响 | 第46页 |
| ·不同尺寸对偶对薄膜摩擦学性能的影响 | 第46-48页 |
| 第4章 结论 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 附录 A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第58页 |
