| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·膜基界面检测技术的现状及发展趋势 | 第9-10页 |
| ·运动控制技术简介 | 第10-15页 |
| ·运动控制概念的提出 | 第10-11页 |
| ·运动控制技术 | 第11-15页 |
| ·本课题研究来源、目的及意义 | 第15页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 激光划痕技术机理研究 | 第16-26页 |
| ·常用的几种薄膜强度测量方法 | 第16-22页 |
| ·划痕法 | 第16-18页 |
| ·激光层裂法 | 第18-19页 |
| ·压痕法 | 第19-21页 |
| ·鼓泡法 | 第21-22页 |
| ·激光划痕法原理 | 第22-24页 |
| ·激光划痕检测技术特点 | 第24-25页 |
| ·划痕试验法研究现状的分析及比较 | 第24页 |
| ·与激光层裂检测技术研究现状的分析及比较 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 激光划痕检测系统构建 | 第26-50页 |
| ·系统设计要求 | 第26-27页 |
| ·系统结构设计 | 第27-31页 |
| ·激光器控制模块及其原理 | 第31-37页 |
| ·半导体激光器控制模块及原理 | 第31-35页 |
| ·固体激光器控制模块及原理 | 第35-37页 |
| ·功率计模块 | 第37-38页 |
| ·功率计原理 | 第37页 |
| ·功率采集 | 第37-38页 |
| ·四维工作平移台控制模块 | 第38-43页 |
| ·红外热像仪模块 | 第43-45页 |
| ·红外检测技术基本原理 | 第43-44页 |
| ·红外热像数据采集 | 第44-45页 |
| ·CCD成像模块 | 第45-48页 |
| ·图像采集 | 第45-46页 |
| ·样品划痕图像预处理 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 系统集成控制软件设计 | 第50-70页 |
| ·Microsoft Visual C++ 6.0简介 | 第50-51页 |
| ·主控软件设计 | 第51-52页 |
| ·激光器控制及功率计模块 | 第52-60页 |
| ·半导体激光器控制模块 | 第52-59页 |
| ·固体激光器控制模块 | 第59页 |
| ·功率计模块 | 第59-60页 |
| ·四维工作平移台模块 | 第60-67页 |
| ·运动控制卡的初始化 | 第62页 |
| ·单轴运动 | 第62-63页 |
| ·多轴联动 | 第63-64页 |
| ·多轴直线插补运动 | 第64-65页 |
| ·多轴圆弧插补运动 | 第65-67页 |
| ·红外热像仪及CCD成像模块 | 第67-69页 |
| ·红外热像仪模块 | 第67-68页 |
| ·CCD成像模块 | 第68-69页 |
| ·样品划痕图像预处理 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 激光划痕试验研究 | 第70-77页 |
| ·实验目的 | 第70页 |
| ·实验设备及实验材料 | 第70-71页 |
| ·实验方法及过程 | 第71-73页 |
| ·实验结果与分析 | 第73-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-79页 |
| ·全文总结 | 第77页 |
| ·工作展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 附录A 系统程序部分源代码 | 第82-97页 |
| 附录B 读研期间发表的论文 | 第97页 |