激光热应力法评估薄膜蠕变性能的研究和有限元模拟
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·薄膜结合强度及其评估方法 | 第10-15页 |
| ·薄膜制备方法与过程 | 第10-12页 |
| ·薄膜结合强度 | 第12-13页 |
| ·薄膜结合强度的测量方法 | 第13-15页 |
| ·薄膜蠕变性能及评估方法 | 第15-19页 |
| ·蠕变法原理 | 第15-16页 |
| ·评估方法 | 第16-17页 |
| ·现有薄膜评估方法存在的问题 | 第17页 |
| ·激光热应力法研究意义 | 第17-19页 |
| ·本课题研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 激光热应力作用下薄膜性能的蠕变分析 | 第20-31页 |
| ·蠕变基本理论 | 第20-21页 |
| ·薄膜的温度场 | 第21-22页 |
| ·蠕变分析 | 第22-27页 |
| ·应变率 | 第23页 |
| ·应力 | 第23-24页 |
| ·应力与应变关系 | 第24-25页 |
| ·应力释放时间 | 第25-26页 |
| ·流动阻力 | 第26-27页 |
| ·临界温度测定 | 第27页 |
| ·变温条件下模量的转换 | 第27-29页 |
| ·变温与恒温下模量转换 | 第28页 |
| ·松弛模量与蠕变模量的转换 | 第28-29页 |
| ·本章小节 | 第29-31页 |
| 第三章 蠕变分析的有限元模拟及热分析理论 | 第31-42页 |
| ·激光诱导下的蠕变特性及软件选用 | 第31-33页 |
| ·有限元法及软件介绍 | 第31-32页 |
| ·有限元模拟中蠕变分析模型的特点 | 第32-33页 |
| ·ANSYS中热分析模块的理论基础 | 第33-36页 |
| ·热分析基本常识 | 第33-34页 |
| ·边界条件与初始条件 | 第34-35页 |
| ·相变问题 | 第35-36页 |
| ·激光诱导热源的实现 | 第36-38页 |
| ·固定加载方式 | 第36-37页 |
| ·移动加载方式 | 第37-38页 |
| ·蠕变临界分析 | 第38-41页 |
| ·层裂 | 第38-39页 |
| ·断裂 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 薄膜蠕变有限元模拟及结果分析 | 第42-63页 |
| ·有限元模型描述 | 第42页 |
| ·有限元模拟过程 | 第42-45页 |
| ·前处理 | 第42-43页 |
| ·加载计算 | 第43-45页 |
| ·后处理 | 第45页 |
| ·脉冲激光作用下的温度和应力分布 | 第45-46页 |
| ·激光诱导下的温度分布 | 第45-46页 |
| ·激光诱导下的应力分布 | 第46页 |
| ·移动热源诱导下的有限元模拟及结果分析 | 第46-58页 |
| ·有限元模型的建立 | 第46-48页 |
| ·模拟条件 | 第48页 |
| ·温度场分析 | 第48-51页 |
| ·应力场分析 | 第51-58页 |
| ·实验佐证 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-66页 |
| ·总结 | 第63-64页 |
| ·尚待解决的问题与前景展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70页 |
