微纳深沟槽结构测量系统研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-13页
·课题来源	第8页
·课题背景	第8页
·傅立叶变换红外光谱测量深沟槽结构的研究概况	第8-10页
·傅立叶变换光谱学基础	第10-12页
·课题的目的和意义	第12页
·论文的研究内容	第12-13页
2 测量系统的硬件设计	第13-33页
·测量方法概述	第13-14页
·测量系统硬件的设计	第14-25页
·探测光路的设计	第25-32页
·测量系统的外观	第32页
·本章小结	第32-33页
3 测量系统软件开发	第33-38页
·红外测量系统软件的总体设计	第33-34页
·ActiveX 控件的调用	第34-36页
·软件的界面设计	第36-37页
·本章小结	第37-38页
4 测量系统实验调试	第38-50页
·系统调试	第38-39页
·深沟槽结构样品制备及其模型等效	第39-41页
·薄膜样品测量	第41-49页
·本章小结	第49-50页
5 总结与展望	第50-52页
·全文总结	第50页
·展望	第50-52页
致谢	第52-53页
参考文献	第53-57页
附录1 攻读硕士学位期间发表论文	第57-58页
附录2 攻读硕士学位期间申请专利	第58页