铬原子与激光场的相互作用及其沉积特性研究

论文摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第1章 引言	第9-15页
·研究的目的与意义	第9-10页
·原子光刻技术简介	第10-12页
·国内外发展现状与发展趋势	第12-14页
·本论文的主要研究工作	第14-15页
第2章 铬原子与激光场的相互作用理论	第15-40页
·铬原子特性	第15-18页
·耗散力	第18-33页
·多普勒冷却	第19-29页
·耗散力作用下铬原子束的分布	第29-33页
·偶极力	第33-39页
·激光驻波场中铬原子的势能	第33-36页
·偶极力作用下铬原子运动轨道的计算模型	第36-39页
·本章小结	第39-40页
第3章 激光驻波场中影响铬原子沉积的因素分析	第40-51页
·球差的影响	第42-43页
·色差的影响	第43-45页
·原子束发散的影响	第45-48页
·沉积基片位置对沉积效果的影响	第48页
·激光功率的影响	第48-49页
·激光驻波场的束腰半径的影响	第49-50页
·本章小结	第50-51页
第4章 全文总结与展望	第51-53页
·全文总结	第51页
·进一步的工作展望	第51-53页
参考文献	第53-57页
在读期间发表的学术论文与研究成果	第57-58页
致谢	第58-59页