| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-29页 |
| §1.1 引言 | 第9-14页 |
| §1.1.1 微光学的发展历程与现状 | 第10-11页 |
| §1.1.2 混合光学系统 | 第11-12页 |
| §1.1.3 微细加工技术简介 | 第12-14页 |
| §1.2 衍射微光学元件特性以及谐衍射概念 | 第14-22页 |
| §1.2.1 负色散特性 | 第15-17页 |
| §1.2.2 复消色差 | 第17-19页 |
| §1.2.3 无热化设计 | 第19-20页 |
| §1.2.4 谐衍射概念 | 第20-22页 |
| §1.2.5 谐衍射的物理意义与应用前景 | 第22页 |
| §1.3 衍射微光学理论背景 | 第22-24页 |
| §1.4 课题主要研究内容及创新点 | 第24-25页 |
| §1.5 论文内容结构安排 | 第25-27页 |
| 参考文献 | 第27-29页 |
| 第二章 衍射光学基础理论 | 第29-55页 |
| §2.1 标量衍射理论 | 第29-34页 |
| §2.1.1 复透过率模型 | 第29-30页 |
| §2.1.2 光场传播理论 | 第30-33页 |
| §2.1.3 标量衍射理论模型的比较和讨论 | 第33-34页 |
| §2.2 矢量衍射理论 | 第34-45页 |
| §2.2.1 严格耦合波理论 | 第34-40页 |
| §2.2.2 BKK模方法 | 第40-45页 |
| §2.3 光线理论模型 | 第45-51页 |
| §2.3.1 光栅方程法 | 第46-48页 |
| §2.3.2 大折射率模型(HRI) | 第48-51页 |
| §2.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 第三章 谐衍射光学元件基础理论 | 第55-85页 |
| §3.1 衍射光学元件的傅立叶分析(角谱理论) | 第55-56页 |
| §3.2 谐衍射光学元件的特性分析 | 第56-60页 |
| §3.3 二元光学衍射元件的衍射效率分析 | 第60-66页 |
| §3.4 谐衍射光学元件的色散分析 | 第66-71页 |
| §3.5 单片谐衍射光学元件的设计理论 | 第71-74页 |
| §3.6 含有谐衍射面的多波段混合光学系统设计理论 | 第74-78页 |
| §3.7 谐衍射和多层衍射光学元件的内在联系 | 第78-82页 |
| §3.8 本章小结 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 第四章 谐衍射光学元件应用研究 | 第85-109页 |
| §4.1 折/谐衍射混合光学标准物镜的应用研究 | 第85-91页 |
| §4.1.1 数字波面干涉测量 | 第85-86页 |
| §4.1.2 光学设计 | 第86-88页 |
| §4.1.3 掩模设计 | 第88-89页 |
| §4.1.4 光学系统加工测试和实验结论 | 第89-91页 |
| §4.2 微光学眼镜的概念与特点 | 第91-94页 |
| §4.3 含有谐衍射面的微光学眼镜 | 第94-98页 |
| §4.4 微光学眼镜校正散光的理论分析 | 第98-99页 |
| §4.5 多波段折/谐衍射混合光学系统设计 | 第99-104页 |
| §4.6 谐衍射光学元件的成像特性分析 | 第104-107页 |
| §4.7 本章小结 | 第107-108页 |
| 参考文献 | 第108-109页 |
| 第五章 谐衍射光学元件性能测试 | 第109-129页 |
| §5.1 连续表面微结构的超精密加工 | 第109-112页 |
| §5.2 谐衍射微光学眼镜的加工与测试 | 第112-116页 |
| §5.2.1 谐衍射微光学眼镜的加工 | 第112-113页 |
| §5.2.2 微结构表面轮廓测量 | 第113-115页 |
| §5.2.3 不同波段的光焦度测量 | 第115-116页 |
| §5.2.4 加工误差分析以及实验结论 | 第116页 |
| §5.3 谐衍射三波段混合光学系统的加工与性能测试 | 第116-121页 |
| §5.4 多掩模套刻误差分析 | 第121-125页 |
| §5.4.1 刻蚀深度误差 | 第121-123页 |
| §5.4.2 横向对准误差 | 第123-125页 |
| §5.5 测试结果分析 | 第125页 |
| §5.6 本章小结 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-129页 |
| 第六章 总结与展望 | 第129-133页 |
| §6.1 论文总结 | 第129-130页 |
| §6.2 应用前景展望 | 第130-133页 |
| 在攻读博士期间所发表的论文 | 第133-135页 |
| 致谢 | 第135页 |