喷雾热解法制备氧化锡薄膜工艺及性能研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 引言 | 第12-13页 |
| 1 文献综述 | 第13-26页 |
| ·SnO_2薄膜的晶体结构 | 第13页 |
| ·SnO_2薄膜的特性 | 第13-18页 |
| ·SnO_2薄膜的物化特性 | 第13-14页 |
| ·SnO_2薄膜的光电性能 | 第14页 |
| ·SnO_2薄膜的电热性能 | 第14-15页 |
| ·SnO_2薄膜的气敏性能 | 第15-18页 |
| ·SnO_2薄膜的压敏性质 | 第18页 |
| ·SnO_2薄膜的湿敏性质 | 第18页 |
| ·SnO_2薄膜的制备方法 | 第18-23页 |
| ·溶胶－凝胶法 | 第18-19页 |
| ·物理气相沉积法 | 第19-21页 |
| ·化学气相沉积法(CVD) | 第21-22页 |
| ·喷雾热解法 | 第22-23页 |
| ·掺杂SnO_2薄膜国内外研究进展 | 第23-24页 |
| ·研究的目的和研究路线 | 第24-26页 |
| 2 喷雾热解法制备薄膜原理及其工艺 | 第26-30页 |
| ·喷雾热解法制备薄膜的原理 | 第26-27页 |
| ·喷雾热解法的特点 | 第27-28页 |
| ·喷雾热解法制备薄膜的工艺 | 第28页 |
| ·喷雾热解法中工艺参数对薄膜性能的影响 | 第28-30页 |
| ·前驱体溶液的影响 | 第28-29页 |
| ·喷涂速度的影响 | 第29页 |
| ·喷涂时间的影响 | 第29页 |
| ·衬底的影响 | 第29页 |
| ·喷嘴与衬底间距的影响 | 第29页 |
| ·热处理温度的影响 | 第29-30页 |
| 3 SnO_2薄膜样品的制备和表征方法 | 第30-35页 |
| ·实验原料和设备 | 第30-31页 |
| ·实验原料 | 第30页 |
| ·实验设备及仪器 | 第30-31页 |
| ·玻璃基材的清洗 | 第31页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜的制备 | 第31-32页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜制备的工艺流程 | 第31页 |
| ·掺锑SnO_2喷涂溶液的制备 | 第31-32页 |
| ·喷雾热解法制备掺锑SnO_2薄膜 | 第32页 |
| ·掺铌SnO_2薄膜的制备 | 第32-33页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜制备的工艺流程 | 第32-33页 |
| ·掺铌SnO_2喷涂溶液的制备 | 第33页 |
| ·喷雾热解法制备掺铌SnO_2薄膜 | 第33页 |
| ·薄膜的表征 | 第33-34页 |
| ·薄膜晶体结构的表征 | 第33-34页 |
| ·薄膜的表面形貌、成分表征 | 第34页 |
| ·薄膜光学性能的测试 | 第34页 |
| ·薄膜电学性能的测试 | 第34页 |
| ·薄膜电热性能的测试 | 第34页 |
| ·小结 | 第34-35页 |
| 4 锑掺杂SnO_2薄膜的结构表征及性能分析 | 第35-44页 |
| ·锑掺杂SnO_2薄膜制备的工艺条件 | 第35页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜的晶相结构表征及分析 | 第35-38页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜的扫描电镜和能谱分析 | 第38-40页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜的扫描电镜表征与分析 | 第38-39页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜的能谱分析 | 第39-40页 |
| ·锑掺杂浓度对膜面颜色的影响 | 第40-41页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜的导电性能分析 | 第41-42页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜的光学性能分析 | 第42-43页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜的化学稳定性测试 | 第43页 |
| ·耐酸性能测试 | 第43页 |
| ·耐碱性能测试 | 第43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 5 铌掺杂SnO_2薄膜的结构表征及性能分析 | 第44-52页 |
| ·铌掺杂SnO_2薄膜制备的工艺条件 | 第44页 |
| ·掺铌SnO_2薄膜的晶相结构表征及分析 | 第44-45页 |
| ·掺铌SnO_2薄膜的扫描电镜和能谱分析 | 第45-48页 |
| ·掺铌SnO_2薄膜的扫描电镜表征与分析 | 第45-47页 |
| ·掺铌SnO_2薄膜的能谱分析 | 第47-48页 |
| ·掺杂浓度对薄膜颜色的影响 | 第48页 |
| ·掺铌SnO_2薄膜导电性能分析 | 第48-49页 |
| ·掺铌SnO_2薄膜光学性能分析 | 第49页 |
| ·掺铌SnO_2薄膜的化学稳定性测试 | 第49-50页 |
| ·耐酸性能测试 | 第50页 |
| ·耐碱性能测试 | 第50页 |
| ·掺锑和掺铌SnO_2薄膜的光电性能比较 | 第50-51页 |
| ·掺锑和掺铌SnO_2薄膜导电性能比较 | 第50页 |
| ·掺锑和掺铌SnO_2薄膜光学性能比较 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 6 掺杂SnO_2薄膜的电热应用测试 | 第52-56页 |
| ·实验过程 | 第52页 |
| ·制备电极 | 第52页 |
| ·通电实验 | 第52页 |
| ·掺锑SnO_2薄膜的电热性能测试 | 第52-53页 |
| ·掺铌SnO_2薄膜电热性能测试 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 在学研究成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
