| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-15页 |
| ·课题的背景 | 第9-11页 |
| ·国内外进展 | 第11-13页 |
| ·熔石英亚表面缺陷 | 第11-12页 |
| ·熔石英表面污染 | 第12-13页 |
| ·论文研究目标及研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 熔石英表面激光损伤实验方法与理论模型 | 第15-32页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·光学元件损伤的定义 | 第15-16页 |
| ·脉冲激光与光学元件相互作用方式 | 第16-17页 |
| ·激光损伤阈值的确定方法 | 第17-19页 |
| ·50%损伤几率阈值 | 第17-18页 |
| ·零几率损伤阈值 | 第18-19页 |
| ·“R-on-1”损伤阈值 | 第19页 |
| ·常见的激光损伤的判定方法 | 第19-20页 |
| ·相衬显微镜观察法 | 第19-20页 |
| ·等离子体闪光判别法 | 第20页 |
| ·影响熔石英元件损伤阈值的因素 | 第20-23页 |
| ·激光参数对损伤阈值的影响 | 第20-22页 |
| ·光学元件参数的影响 | 第22-23页 |
| ·熔石英元件损伤机理 | 第23-28页 |
| ·本征损伤的物理过程 | 第24页 |
| ·缺陷损伤的物理过程 | 第24-28页 |
| ·熔石英表面污染诱导损伤模型 | 第28-30页 |
| ·小结 | 第30-32页 |
| 第三章 金属污染物诱导熔石英损伤温度场的数值模拟 | 第32-40页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·热吸收模型 | 第32-33页 |
| ·热弹性力学模型 | 第33-34页 |
| ·脉冲激光辐照下熔石英元件的温度场分布 | 第34-36页 |
| ·脉冲激光辐照后熔石英样片温度场和应力场数值模拟 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 熔石英表面污染物诱导损伤规律的研究 | 第40-59页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·实验过程 | 第40-42页 |
| ·金属污染物的表征 | 第40-41页 |
| ·金属污染物诱导熔石英损伤实验装置与激光参数 | 第41-42页 |
| ·金属污染物薄膜诱导熔石英损伤的研究 | 第42-44页 |
| ·金属污染物薄膜参数的表征 | 第42-43页 |
| ·激光诱导熔石英损伤测试方式 | 第43-44页 |
| ·金属污染物薄膜诱导熔石英激光损伤形貌的测试与分析 | 第44-50页 |
| ·前表面污染物诱导损伤分析 | 第44-45页 |
| ·后表面污染物诱导损伤分析 | 第45-46页 |
| ·不同金属污染物膜层之间的损伤形貌对比研究 | 第46-47页 |
| ·金属污染物诱导熔石英损伤阈值测试 | 第47-49页 |
| ·热吸收模型 | 第49-50页 |
| ·颗粒状污染诱导熔石英表面损伤的研究 | 第50-57页 |
| ·污染物的制备 | 第50-52页 |
| ·前表面金属污染物诱导损伤的研究 | 第52-53页 |
| ·后表面金属污染物诱导损伤的研究 | 第53-54页 |
| ·损伤形貌与理论模型对比验证 | 第54-55页 |
| ·损伤尺寸与污染物颗粒尺寸之间的关系 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-59页 |
| 第五章 熔石英表面损伤增长的研究 | 第59-72页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·洁净熔石英样片表面损伤增长 | 第59-65页 |
| ·实验步骤 | 第59-60页 |
| ·实验结果分析 | 第60-62页 |
| ·熔石英后表面的损伤增长 | 第60-61页 |
| ·熔石英前表面的损伤增长 | 第61-62页 |
| ·损伤增长机理分析 | 第62-65页 |
| ·SiO_X层的形成与能量的吸收 | 第62页 |
| ·微小颗粒的散射作用 | 第62-63页 |
| ·致密层对紫外光的吸收 | 第63-64页 |
| ·弹坑周围裂纹 | 第64-65页 |
| ·污染后的熔石英表面损伤增长 | 第65-67页 |
| ·污染熔石英后表面的损伤增长 | 第65页 |
| ·污染熔石英前表面的损伤增长 | 第65-66页 |
| ·损伤增长机理的对比研究分析 | 第66-67页 |
| ·CO_2预处理机制提高损伤阈值的研究 | 第67-71页 |
| ·CO_2激光预处理机制 | 第67-68页 |
| ·CO_2激光预处理实验研究 | 第68-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 结论 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 附录 | 第79页 |