| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·论文选题背景及课题来源 | 第10-11页 |
| ·国内外硅片传输机器人的发展及研究现状 | 第11-16页 |
| ·国外硅片传输机器人研究现状 | 第12-15页 |
| ·国内硅片传输机器人的研究现状 | 第15-16页 |
| ·国内外磁流体密封技术的发展与研究现状 | 第16-20页 |
| ·国外磁流体密封技术的研究现状 | 第17-18页 |
| ·国内磁流体密封技术的研究现状 | 第18-19页 |
| ·磁流体密封技术目前存在的问题 | 第19-20页 |
| ·论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 2 磁流体及其密封理论 | 第22-36页 |
| ·磁流体的组成、特性及应用 | 第22-26页 |
| ·磁流体的组成及制备 | 第22-23页 |
| ·磁流体的主要特性 | 第23-25页 |
| ·磁流体的典型应用 | 第25-26页 |
| ·磁流体密封的原理及特点 | 第26-27页 |
| ·磁流体密封理论分析与耐压公式推导 | 第27-35页 |
| ·磁流体的磁体积力推导 | 第27-28页 |
| ·磁流体的Bernoulli方程 | 第28-29页 |
| ·磁流体静密封耐压公式 | 第29-32页 |
| ·磁流体动密封耐压公式 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 双轴磁流体密封结构设计 | 第36-50页 |
| ·有限元计算方法 | 第36页 |
| ·ANSYS软件介绍 | 第36-38页 |
| ·双轴磁流体密封结构的磁场计算 | 第38-43页 |
| ·磁场求解 | 第39-41页 |
| ·结果分析 | 第41-43页 |
| ·双轴磁流体密封结构参数设计 | 第43-49页 |
| ·永磁体参数设计 | 第43-44页 |
| ·磁极齿形参数设计 | 第44-46页 |
| ·外轴及导磁套参数设计 | 第46-48页 |
| ·内、外永磁体轴向相对位置的设计 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 4 具有双轴磁流体密封结构的硅片传输机器人设计 | 第50-58页 |
| ·双轴磁流体密封硅片传输机器人设计方案 | 第50-51页 |
| ·机器人手臂设计方案 | 第50-51页 |
| ·双轴磁流体密封装置设计 | 第51-53页 |
| ·双轴磁流体密封硅片传输机器人结构设计 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 具有三轴磁流体密封结构的硅片传输机器人设计 | 第58-68页 |
| ·三轴磁流体密封硅片传输机器人设计方案 | 第58页 |
| ·三轴磁流体密封装置设计 | 第58-62页 |
| ·三轴磁流体密封硅片传输机器人结构设计 | 第62-67页 |
| ·机器人结构组成 | 第64页 |
| ·机器人运动实现 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 6 三轴磁流体密封实验研究 | 第68-78页 |
| ·三轴磁流体密封实验台设计 | 第68-72页 |
| ·三轴磁流体密封装置设计 | 第69-71页 |
| ·驱动装置的设计 | 第71-72页 |
| ·应用于硅片传输机器人的三轴磁流体密封装置实验研究 | 第72-74页 |
| ·三轴磁流体密封装置静密封实验测试 | 第73-74页 |
| ·三轴磁流体密封装置动密封实验测试 | 第74页 |
| ·磁流体密封结构参数对密封压差影响实验研究 | 第74-77页 |
| ·永磁体厚度对密封性能的影响 | 第75页 |
| ·极齿宽度对密封性能的影响 | 第75-76页 |
| ·密封间隙对密封性能的影响 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-82页 |
| 附录A 《一种真空机器人》专利受理书 | 第82-83页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文及申报专利情况 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |