| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-10页 |
| 1 射频等离子体模式转化及不稳定性的研究背景及现状 | 第8-9页 |
| 2 本课题的提出及意义 | 第9-10页 |
| 1 射频感性耦合等离子体的不稳定性的研究进展 | 第10-21页 |
| ·E-H模式转化的研究进展 | 第10-16页 |
| ·国外的研究进展 | 第10-11页 |
| ·国内的研究进展 | 第11-16页 |
| ·受迫振荡的的研究进展 | 第16-19页 |
| ·电负性气体自振荡的研究进展 | 第19-21页 |
| 2 实验系统介绍 | 第21-28页 |
| ·实验装置介绍 | 第21-23页 |
| ·实验诊断装置及改进 | 第23-28页 |
| ·诊断系统的改进 | 第23页 |
| ·Z-Scan测量系统的介绍 | 第23-24页 |
| ·Smith圆图原理的介绍 | 第24-28页 |
| 3 实验结果 | 第28-45页 |
| ·等离子体净吸收功率 | 第28-30页 |
| ·匹配网络和线圈的阻抗的计算 | 第28-29页 |
| ·净吸收功率的计算 | 第29-30页 |
| ·匹配网络对不稳定性的影响 | 第30-33页 |
| ·天线耦合强度的影响 | 第33-39页 |
| ·天线耦合强度对放电模式的影响 | 第34-35页 |
| ·天线耦合强度对波形的影响 | 第35-38页 |
| ·天线耦合强度对自振荡频率和幅值的影响 | 第38-39页 |
| ·电负性气体中射频感性耦合等离子体不稳定区域 | 第39-41页 |
| ·气压的影响 | 第41-45页 |
| ·气压对波形的影响 | 第41-44页 |
| ·气压对频率的影响 | 第44-45页 |
| 4 结论 | 第45-47页 |
| ·论文总结 | 第45页 |
| ·对今后工作的建议 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |