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溶胶—凝胶法制备钛酸铝薄膜的工艺研究

摘要第1-4页
Abstract第4-9页
1 引言第9-11页
2 文献综述第11-26页
   ·钛酸铝材料简介第11-15页
     ·Al_2O_3-TiO_2系统相图第11页
     ·钛酸铝的晶体结构第11-12页
     ·钛酸铝陶瓷的耐腐蚀性第12页
     ·钛酸铝的热稳定性第12-14页
     ·钛酸铝陶瓷的强度第14-15页
     ·钛酸铝薄膜的特性及应用第15页
   ·钛酸铝薄膜制备的国内外研究现状第15-19页
     ·溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的研究现状第15-19页
     ·其它方法制备钛酸铝薄膜的研究现状第19页
   ·薄膜的制备方法简介第19-23页
     ·固态粒子烧结法第20页
     ·薄膜沉积法第20页
     ·阳极氧化法第20页
     ·水热法第20页
     ·溶胶-凝胶法第20-23页
   ·非水解溶胶-凝胶法简介第23-26页
     ·非水解溶胶-凝胶法的概况第23-24页
     ·非水解溶胶-凝胶法的原理第24-25页
     ·溶胶-凝胶法与非水解溶胶-凝胶法比较第25页
     ·非水解溶胶-凝胶法制备薄膜材料的研究现状第25-26页
3 水解溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的研究第26-45页
   ·引言第26页
   ·实验第26-29页
     ·实验原料第26-27页
     ·实验设备第27页
     ·工艺流程第27-28页
     ·基片处理第28页
       ·玻璃基片的清洗第28页
       ·莫来石基片的制备及清洗第28页
       ·SiC基片的预处理及清洗第28页
     ·溶胶和薄膜样品的制备第28-29页
       ·溶胶样品的制备第28-29页
       ·镀膜及膜的干燥第29页
       ·膜的热处理第29页
         ·低温热处理第29页
         ·高温热处理第29页
   ·测试与表征第29-30页
     ·溶胶粘度的测定第29页
     ·玻璃基片镀膜的数码显微分析第29页
     ·热分析(TGA-DSC)第29页
     ·X射线衍射(XRD)分析第29-30页
     ·扫描电子显微镜(SEM)分析第30页
     ·场发射扫描电子显微(FE-SEM)分析第30页
     ·结果与讨论第30-43页
     ·适于镀膜的稳定钛酸铝溶胶的制备第30-35页
       ·抑制剂种类及用量对溶胶成膜质量的影响第31-33页
       ·pH值对溶胶成膜质量的影响第33-34页
       ·前驱体浓度对溶胶成膜质量的影响第34页
       ·陈化时间对溶胶成膜质量的影响第34-35页
       ·玻璃基片镀膜的SEM分析第35页
     ·薄膜热处理制度的确定第35-36页
     ·镀膜工艺参数的优化第36-40页
       ·浸渍提拉速度对镀膜效果的影响第36-37页
       ·镀膜工艺对莫来石基片镀膜效果的影响第37-39页
         ·浸渍时间对莫来石基片镀膜效果的影响第37-38页
         ·镀膜次数对莫来石基片镀膜效果的影响第38-39页
       ·碳化硅基片的预处理对镀膜效果的影响第39-40页
     ·膜的表征第40-41页
       ·膜的XRD分析第40页
       ·膜的FE-SEM分析第40-41页
     ·钛酸铝薄膜的性能研究第41-43页
       ·钛酸铝薄膜的抗铝熔体侵蚀性能研究第41-42页
       ·钛酸铝薄膜的抗硝酸钠熔体腐蚀性能研究第42-43页
   ·本章小结第43-45页
4 非水解溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的研究第45-66页
   ·引言第45-46页
   ·实验第46-49页
     ·实验原料第46页
     ·实验设备第46-47页
     ·工艺流程第47-48页
       ·NHSG法制备钛酸铝薄膜的工艺流程第47页
       ·NHSG法改性钛酸铝的工艺流程第47-48页
     ·样品的制备第48-49页
       ·薄膜样品的制备第48页
       ·改性样品的制备第48-49页
   ·测试与表征第49-50页
     ·傅立叶变换红外光谱分析(FT-IR)第49页
     ·X射线衍射分析(XRD)第49-50页
     ·热膨胀系数测试第50页
   ·结果分析与讨论第50-65页
       ·溶剂种类对钛酸铝低温合成效果的影响第50-51页
     ·薄膜热处理制度的确定第51页
     ·镀膜溶胶制备工艺的优化第51-53页
     ·NHSG法所制钛酸铝薄膜的表征第53-54页
       ·膜的XRD分析第53页
       ·热处理温度对薄膜形貌的影响第53-54页
     ·热处理温度对薄膜抗硝酸钠熔体腐蚀性能的影响第54-55页
     ·水解、非水解溶胶-凝胶转变过程的对比研究第55-59页
       ·HSG法制备钛酸铝的溶胶-凝胶转变过程第56-57页
       ·NHSG法制备钛酸铝的溶胶-凝胶转变过程第57-59页
     ·NHSG法改性钛酸铝的研究第59-65页
       ·镁源种类对钛酸铝改性效果的影响第60-61页
       ·镁源的加入时机对钛酸铝改性效果的影响第61-62页
       ·铁源种类对钛酸铝改性效果的影响第62-63页
       ·乙醇镁、乙醇铁复合改性钛酸铝的效果第63-64页
       ·改性样品的热膨胀分析第64-65页
   ·本章小结第65-66页
5 结论第66-67页
致谢第67-68页
论文的不足之处第68-69页
参考文献第69-73页

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