溶胶—凝胶法制备钛酸铝薄膜的工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 1 引言 | 第9-11页 |
| 2 文献综述 | 第11-26页 |
| ·钛酸铝材料简介 | 第11-15页 |
| ·Al_2O_3-TiO_2系统相图 | 第11页 |
| ·钛酸铝的晶体结构 | 第11-12页 |
| ·钛酸铝陶瓷的耐腐蚀性 | 第12页 |
| ·钛酸铝的热稳定性 | 第12-14页 |
| ·钛酸铝陶瓷的强度 | 第14-15页 |
| ·钛酸铝薄膜的特性及应用 | 第15页 |
| ·钛酸铝薄膜制备的国内外研究现状 | 第15-19页 |
| ·溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的研究现状 | 第15-19页 |
| ·其它方法制备钛酸铝薄膜的研究现状 | 第19页 |
| ·薄膜的制备方法简介 | 第19-23页 |
| ·固态粒子烧结法 | 第20页 |
| ·薄膜沉积法 | 第20页 |
| ·阳极氧化法 | 第20页 |
| ·水热法 | 第20页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第20-23页 |
| ·非水解溶胶-凝胶法简介 | 第23-26页 |
| ·非水解溶胶-凝胶法的概况 | 第23-24页 |
| ·非水解溶胶-凝胶法的原理 | 第24-25页 |
| ·溶胶-凝胶法与非水解溶胶-凝胶法比较 | 第25页 |
| ·非水解溶胶-凝胶法制备薄膜材料的研究现状 | 第25-26页 |
| 3 水解溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的研究 | 第26-45页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·实验 | 第26-29页 |
| ·实验原料 | 第26-27页 |
| ·实验设备 | 第27页 |
| ·工艺流程 | 第27-28页 |
| ·基片处理 | 第28页 |
| ·玻璃基片的清洗 | 第28页 |
| ·莫来石基片的制备及清洗 | 第28页 |
| ·SiC基片的预处理及清洗 | 第28页 |
| ·溶胶和薄膜样品的制备 | 第28-29页 |
| ·溶胶样品的制备 | 第28-29页 |
| ·镀膜及膜的干燥 | 第29页 |
| ·膜的热处理 | 第29页 |
| ·低温热处理 | 第29页 |
| ·高温热处理 | 第29页 |
| ·测试与表征 | 第29-30页 |
| ·溶胶粘度的测定 | 第29页 |
| ·玻璃基片镀膜的数码显微分析 | 第29页 |
| ·热分析(TGA-DSC) | 第29页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第29-30页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第30页 |
| ·场发射扫描电子显微(FE-SEM)分析 | 第30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-43页 |
| ·适于镀膜的稳定钛酸铝溶胶的制备 | 第30-35页 |
| ·抑制剂种类及用量对溶胶成膜质量的影响 | 第31-33页 |
| ·pH值对溶胶成膜质量的影响 | 第33-34页 |
| ·前驱体浓度对溶胶成膜质量的影响 | 第34页 |
| ·陈化时间对溶胶成膜质量的影响 | 第34-35页 |
| ·玻璃基片镀膜的SEM分析 | 第35页 |
| ·薄膜热处理制度的确定 | 第35-36页 |
| ·镀膜工艺参数的优化 | 第36-40页 |
| ·浸渍提拉速度对镀膜效果的影响 | 第36-37页 |
| ·镀膜工艺对莫来石基片镀膜效果的影响 | 第37-39页 |
| ·浸渍时间对莫来石基片镀膜效果的影响 | 第37-38页 |
| ·镀膜次数对莫来石基片镀膜效果的影响 | 第38-39页 |
| ·碳化硅基片的预处理对镀膜效果的影响 | 第39-40页 |
| ·膜的表征 | 第40-41页 |
| ·膜的XRD分析 | 第40页 |
| ·膜的FE-SEM分析 | 第40-41页 |
| ·钛酸铝薄膜的性能研究 | 第41-43页 |
| ·钛酸铝薄膜的抗铝熔体侵蚀性能研究 | 第41-42页 |
| ·钛酸铝薄膜的抗硝酸钠熔体腐蚀性能研究 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 4 非水解溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的研究 | 第45-66页 |
| ·引言 | 第45-46页 |
| ·实验 | 第46-49页 |
| ·实验原料 | 第46页 |
| ·实验设备 | 第46-47页 |
| ·工艺流程 | 第47-48页 |
| ·NHSG法制备钛酸铝薄膜的工艺流程 | 第47页 |
| ·NHSG法改性钛酸铝的工艺流程 | 第47-48页 |
| ·样品的制备 | 第48-49页 |
| ·薄膜样品的制备 | 第48页 |
| ·改性样品的制备 | 第48-49页 |
| ·测试与表征 | 第49-50页 |
| ·傅立叶变换红外光谱分析(FT-IR) | 第49页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第49-50页 |
| ·热膨胀系数测试 | 第50页 |
| ·结果分析与讨论 | 第50-65页 |
| ·溶剂种类对钛酸铝低温合成效果的影响 | 第50-51页 |
| ·薄膜热处理制度的确定 | 第51页 |
| ·镀膜溶胶制备工艺的优化 | 第51-53页 |
| ·NHSG法所制钛酸铝薄膜的表征 | 第53-54页 |
| ·膜的XRD分析 | 第53页 |
| ·热处理温度对薄膜形貌的影响 | 第53-54页 |
| ·热处理温度对薄膜抗硝酸钠熔体腐蚀性能的影响 | 第54-55页 |
| ·水解、非水解溶胶-凝胶转变过程的对比研究 | 第55-59页 |
| ·HSG法制备钛酸铝的溶胶-凝胶转变过程 | 第56-57页 |
| ·NHSG法制备钛酸铝的溶胶-凝胶转变过程 | 第57-59页 |
| ·NHSG法改性钛酸铝的研究 | 第59-65页 |
| ·镁源种类对钛酸铝改性效果的影响 | 第60-61页 |
| ·镁源的加入时机对钛酸铝改性效果的影响 | 第61-62页 |
| ·铁源种类对钛酸铝改性效果的影响 | 第62-63页 |
| ·乙醇镁、乙醇铁复合改性钛酸铝的效果 | 第63-64页 |
| ·改性样品的热膨胀分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 5 结论 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 论文的不足之处 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
