溶胶凝胶法制备透明导电氧化物CuAlO2薄膜及其性质研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·透明导电氧化物薄膜简介 | 第9-11页 |
| ·Cu~+基p型TCO的价带化学修饰理论 | 第11-12页 |
| ·CuAlO_2的晶体结构和能带特点 | 第12-13页 |
| ·p型CuAlO_2薄膜的研究进展 | 第13-16页 |
| ·本论文选题思路和研究内容 | 第16-18页 |
| 参考文献 | 第18-20页 |
| 第二章 样品的制备方法及表征手段 | 第20-28页 |
| ·样品的制备方法 | 第20-23页 |
| ·溶胶凝胶(Sol-Gel)法简介 | 第20-22页 |
| ·聚乙烯醇(PVA)的作用 | 第22-23页 |
| ·薄膜的表征手段及其性能测试 | 第23-27页 |
| ·薄膜的结构分析 | 第23-25页 |
| ·薄膜的形貌观测 | 第25-26页 |
| ·薄膜的厚度测量 | 第26页 |
| ·薄膜的光学性能测试 | 第26-27页 |
| 参考文献 | 第27-28页 |
| 第三章 CuAlO_2薄膜的制备与性能研究 | 第28-58页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·CuAlO_2薄膜的制备过程 | 第28-31页 |
| ·石英衬底的处理 | 第28-29页 |
| ·旋涂溶胶的配制 | 第29-30页 |
| ·旋涂制膜工艺 | 第30页 |
| ·薄膜退火工艺 | 第30-31页 |
| ·制备工艺对CuAlO_2薄膜制备的影响 | 第31-55页 |
| ·PVA对CuAlO_2薄膜结构与性能的影响 | 第31-38页 |
| ·退火温度对CuAlO_2薄膜结构与性能的影响 | 第38-48页 |
| ·表面活性剂对CuAlO_2薄膜结构与性能的影响 | 第48-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 第四章 结论与展望 | 第58-60页 |
| ·结论 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
