| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-37页 |
| ·垂直腔面发射激光器（VCSELs）介绍 | 第11-15页 |
| ·VCSELs 的概念简介 | 第11-14页 |
| ·VCSELs 的结构和特点 | 第14-15页 |
| ·VCSELs 的发展历史和研究现状 | 第15-31页 |
| ·多波长VCSELs 发展历史 | 第15-19页 |
| ·高功率VCSELs 最新进展 | 第19-31页 |
| ·微透镜集成VCSELs 的研究背景及意义 | 第31-35页 |
| ·本论文的研究工作 | 第35-37页 |
| 第2章 微透镜集成垂直腔面发射激光器理论分析 | 第37-49页 |
| ·微透镜集成垂直腔面发射激光器理论模型分析 | 第37-48页 |
| ·微透镜集成VCSELs 光增益 | 第38页 |
| ·有效反射率 | 第38-39页 |
| ·腔内损耗 | 第39页 |
| ·阈值电流、微分量子效率、输出功率 | 第39-44页 |
| ·模式特性分析 | 第44-46页 |
| ·不同反馈强度下光谱特性分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第3章 微透镜集成垂直腔面发射激光器制备工艺研究 | 第49-79页 |
| ·制备微透镜方法简介 | 第49-59页 |
| ·限制扩散湿法刻蚀法制作微透镜 | 第59-66页 |
| ·微透镜工艺制作过程 | 第59-62页 |
| ·表面形貌测试与分析 | 第62-66页 |
| ·微透镜集成底发射VCSELs 工艺流程 | 第66-68页 |
| ·微透镜集成底发射VCSELs 工艺过程几个关键技术 | 第68-76页 |
| ·光刻技术 | 第68-69页 |
| ·湿法腐蚀工艺研究 | 第69-71页 |
| ·选择性湿法氧化技术研究 | 第71-75页 |
| ·低欧姆接触电阻工艺研究 | 第75-76页 |
| ·优化合金工艺条件 | 第76页 |
| ·本章小结 | 第76-79页 |
| 第4章 微透镜集成垂直腔面发射激光器测试结果及分析 | 第79-97页 |
| ·微透镜集成垂直腔面发射激光器单管性能测试及分析 | 第80-89页 |
| ·微透镜集成垂直腔面发射激光器单管输出特性 | 第80-83页 |
| ·微透镜集成垂直腔面发射激光器单管远场特性 | 第83-89页 |
| ·微透镜集成垂直腔面发射激光器列阵性能测试及分析 | 第89-94页 |
| ·本章小结 | 第94-97页 |
| 第5章 总结与展望 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-108页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第108-111页 |
| 指导教师及作者简介 | 第111-113页 |
| 致谢 | 第113页 |