| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-22页 |
| ·引言 | 第11-16页 |
| ·微机械加速度传感器的分类 | 第11-12页 |
| ·微机械加速度传感器的应用 | 第12-14页 |
| ·微机械加速度传感器基本工作原理 | 第14-16页 |
| ·微机械电容式加速度计的工作原理 | 第16-20页 |
| ·变间距式电容微机械加速度计 | 第16-18页 |
| ·变面积式电容微机械加速度计 | 第18-20页 |
| ·论文的主要工作和意义 | 第20-22页 |
| 2 电容检测电路的研究和设计 | 第22-41页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·电容检测电路的分类 | 第22-28页 |
| ·开关型检测电路 | 第22-25页 |
| ·调制解调型检测电路 | 第25-28页 |
| ·单路载波调制型检测电路的设计 | 第28-40页 |
| ·载波产生模块实现方式 | 第28-30页 |
| ·带通滤波器的设计 | 第30-31页 |
| ·电容幅度调制模块的设计 | 第31-33页 |
| ·同步解调模块的设计 | 第33-39页 |
| ·低通有源滤波器的设计 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 3 单路载波调制型电容检测电路的分析 | 第41-62页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·改进前加速度计性能测试结果和分析 | 第41-43页 |
| ·温度对系统各个组成模块的影响 | 第43-54页 |
| ·温度对载波模块的影响 | 第43-44页 |
| ·带通滤波器的参数设计及温度对带通滤波器模块的影响 | 第44-45页 |
| ·温度对电荷放大器模块的影响 | 第45-49页 |
| ·温度对仪表放大器模块的影响 | 第49-50页 |
| ·温度对同步解调模块的影响 | 第50-52页 |
| ·低通滤波器的参数设计及温度对低通滤波器模块的影响 | 第52-54页 |
| ·载波频率的选择 | 第54-55页 |
| ·寄生效应对系统的影响 | 第55-57页 |
| ·三轴加速度计检测电路的设计 | 第57-60页 |
| ·小结 | 第60-62页 |
| 4 加速度计性能检测 | 第62-75页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·刻度因数的稳定性 | 第62-63页 |
| ·阈值 | 第63-65页 |
| ·分辨率 | 第65-67页 |
| ·零偏稳定性 | 第67-70页 |
| ·启动时间 | 第70-71页 |
| ·频带宽度 | 第71页 |
| ·-1g～+1g的线性度测试 | 第71-73页 |
| ·改进前的加速度计和改进后的加速度计测试比较 | 第73-74页 |
| ·小结 | 第74-75页 |
| 5 总结与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 作者硕士期间发表论文以及获奖情况 | 第81页 |