| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| ·微机械加速度计概述 | 第10-16页 |
| ·定义与分类 | 第10-11页 |
| ·工作原理 | 第11-15页 |
| ·性能指标 | 第15-16页 |
| ·电容检测式微机械加速度计 | 第16-24页 |
| ·电容的改变方式 | 第16-19页 |
| ·结构类型 | 第19-21页 |
| ·研究现状 | 第21-24页 |
| ·本论文的主要内容和研究意义 | 第24-26页 |
| 2 高精度电容式微机械加速度计系统设计 | 第26-40页 |
| ·系统构成 | 第26-32页 |
| ·加速度计表头结构 | 第26-29页 |
| ·信号检测电路方案 | 第29-32页 |
| ·系统性能分析 | 第32-39页 |
| ·噪声分析 | 第32-37页 |
| ·量程分析 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 3 高精度电容式微机械加速度计系统的外围接口电路实现 | 第40-65页 |
| ·电容检测模块 | 第40-44页 |
| ·单端电荷放大电容检测电路 | 第40-41页 |
| ·组合式差分电容检测电路 | 第41-44页 |
| ·滤波模块 | 第44-48页 |
| ·前级滤波放大模块 | 第45-47页 |
| ·末级带通滤波模块 | 第47-48页 |
| ·载波产生模块 | 第48-58页 |
| ·载波的选择 | 第48-51页 |
| ·载波的产生 | 第51-53页 |
| ·载波的性能 | 第53-58页 |
| ·解调模块 | 第58-61页 |
| ·数模混合系统接口电路 | 第61-63页 |
| ·抗干扰设计 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 4 高精度电容式微机械加速度计系统测试 | 第65-77页 |
| ·线性度测试 | 第65-66页 |
| ·灵敏度测试 | 第66-67页 |
| ·噪声性能测试 | 第67-73页 |
| ·稳定性测试 | 第73-75页 |
| ·温度特性测试 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 5 总结与展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第84页 |