高性能三轴一体化磁传感器设计及石墨烯基新型磁敏感体研究
| 摘要 | 第11-12页 |
| Abstract | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-26页 |
| 1.2.1 三轴磁传感器的发展现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 磁隧道结的研究进展 | 第17-26页 |
| 1.3 论文思路与研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 三轴磁传感器一体化设计研究 | 第28-38页 |
| 2.1 空间磁场平面化测量方法 | 第28-32页 |
| 2.1.1 斜面磁力线聚集器结构设计 | 第28-30页 |
| 2.1.2 斜面磁聚集器性能分析 | 第30-31页 |
| 2.1.3 磁场垂向分量的分离方法 | 第31-32页 |
| 2.2 三轴一体化设计研究 | 第32-37页 |
| 2.2.1 三轴一体化结构设计和磁信号解耦 | 第32-35页 |
| 2.2.2 三轴磁力线聚集器磁学性能分析 | 第35-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 石墨烯磁隧道结磁敏感机理研究 | 第38-62页 |
| 3.1 石墨烯磁隧道结模型建立与优化 | 第38-43页 |
| 3.1.1 理论基础 | 第38-40页 |
| 3.1.2 石墨烯磁隧道结模型建立 | 第40-42页 |
| 3.1.3 模型计算参数优化 | 第42-43页 |
| 3.2 石墨烯磁隧道结自旋相关磁敏感机理 | 第43-48页 |
| 3.2.1 镍/石墨烯/镍超晶胞能带结构 | 第44-45页 |
| 3.2.2 镍/石墨烯界面自旋极化特性分析 | 第45-46页 |
| 3.2.3 石墨烯磁隧道结自旋输运特性分析 | 第46-48页 |
| 3.3 石墨烯磁隧道结磁电阻效应与调控规律 | 第48-61页 |
| 3.3.1 石墨烯层数对磁电阻效应调控机理 | 第49-52页 |
| 3.3.2 偏压对磁电阻效应的影响规律 | 第52-54页 |
| 3.3.3 铁磁层各向异性对磁电阻效应的影响规律 | 第54-61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 磁隧道结设计和关键工艺研究 | 第62-104页 |
| 4.1 石墨烯基磁隧道结设计 | 第62-67页 |
| 4.1.1 磁隧道结的结构设计 | 第62-63页 |
| 4.1.2 磁隧道结的材料设计 | 第63-66页 |
| 4.1.3 制备工艺流程设计 | 第66-67页 |
| 4.2 铁磁/石墨烯界面高质量控制 | 第67-79页 |
| 4.2.1 石墨烯转移方法研究 | 第68-76页 |
| 4.2.2 石墨烯基铁磁薄膜制备 | 第76-77页 |
| 4.2.3 退火对界面质量的影响分析 | 第77-79页 |
| 4.3 磁隧道结纳米结区控制 | 第79-93页 |
| 4.3.1 纳米孔关键制备技术 | 第80-87页 |
| 4.3.2 悬浮石墨烯上薄膜制备形变抑制研究 | 第87-93页 |
| 4.4 石墨烯基铁磁纳米膜可控图形化 | 第93-103页 |
| 4.4.1 石墨烯基金属薄膜图形化问题 | 第93-99页 |
| 4.4.2 石墨烯图形化研究 | 第99-103页 |
| 4.5 本章小结 | 第103-104页 |
| 第五章 石墨烯磁隧道结效应测试与分析 | 第104-113页 |
| 5.1 磁电阻效应测试方法及系统构建 | 第104-106页 |
| 5.1.1 磁电阻效应测试方法 | 第104-105页 |
| 5.1.2 磁电阻自动测试系统构建 | 第105-106页 |
| 5.2 磁电阻效应测试分析 | 第106-112页 |
| 5.2.1 磁电阻测试方案 | 第106-107页 |
| 5.2.2 测试系统性能验证 | 第107-108页 |
| 5.2.3 测试结果分析 | 第108-112页 |
| 5.3 本章小结 | 第112-113页 |
| 第六章 结论与展望 | 第113-119页 |
| 6.1 全文总结 | 第113-115页 |
| 6.2 研究展望 | 第115-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-127页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第127页 |
