半导体制造企业生产物流控制方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-11页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·研究意义 | 第10-11页 |
| ·文献综述 | 第11-14页 |
| ·半导体制造企业物料搬运系统的调度策略相关文献 | 第11-13页 |
| ·半导体制造企业物料跟踪技术及应用相关文献 | 第13-14页 |
| ·本文的研究内容及结构 | 第14-15页 |
| 2 半导体制造企业生产物流系统及控制体系 | 第15-26页 |
| ·半导体制造企业生产流程及生产物流概述 | 第15-18页 |
| ·半导体制造企业生产流程 | 第15-16页 |
| ·半导体制造企业生产物流概念 | 第16-17页 |
| ·半导体制造企业生产物流总体特点 | 第17-18页 |
| ·半导体制造企业生产物流控制的内容与体系结构 | 第18-21页 |
| ·半导体制造企业生产物流控制的内容 | 第18-19页 |
| ·半导体制造企业生产物流控制体系 | 第19-21页 |
| ·半导体制造企业自动化生产物流系统简介 | 第21-26页 |
| ·自动物料搬运系统的概念与构成 | 第21-23页 |
| ·自动物料搬运系统的布局结构 | 第23-25页 |
| ·自动物料搬运系统的优点 | 第25-26页 |
| 3 半导体制造企业生产物流调度方法 | 第26-42页 |
| ·自动物料搬运系统的interbay物流调度 | 第26-31页 |
| ·Interbay物流调度问题描述 | 第26-28页 |
| ·基于规则的interbay调度机制 | 第28-31页 |
| ·自动物料搬运系统的intrabay物流调度 | 第31-42页 |
| ·Intrabay物流调度问题描述 | 第31-32页 |
| ·模糊逻辑理论简介 | 第32-34页 |
| ·基于模糊逻辑的intrabay调度机制 | 第34-42页 |
| 4 半导体制造企业在制品跟踪方法 | 第42-54页 |
| ·物料跟踪原理 | 第42-46页 |
| ·物料跟踪相关概念 | 第42-43页 |
| ·物料跟踪的要素 | 第43-45页 |
| ·物料跟踪三维空间模型 | 第45-46页 |
| ·半导体车间在制品跟踪模型构建 | 第46-51页 |
| ·半导体车间在制品跟踪要素 | 第46-47页 |
| ·半导体车间在制品跟踪要素的编码 | 第47-48页 |
| ·半导体车间在制品跟踪模型 | 第48-51页 |
| ·半导体车间在制品跟踪过程实例 | 第51-54页 |
| 5 半导体制造企业生产物流控制的支撑技术 | 第54-62页 |
| ·数据采集技术 | 第54-58页 |
| ·数据采集概述 | 第54页 |
| ·数据采集相关通信标准 | 第54-56页 |
| ·半导体车间数据采集系统分析 | 第56-58页 |
| ·物料识别技术 | 第58-62页 |
| ·物料识别技术概述 | 第58页 |
| ·常用的物料识别技术 | 第58-60页 |
| ·基于RFID的半导体车间物料跟踪系统分析 | 第60-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-69页 |
