光栅结构优化微测辐射热计性能的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 红外探测技术的研究背景与发展 | 第10页 |
| 1.2 国内外红外产业发展概述 | 第10-11页 |
| 1.3 微测辐射热计的研究进展 | 第11-13页 |
| 1.4 论文的研究意义 | 第13页 |
| 1.5 论文的内容安排 | 第13-15页 |
| 2 基于等离激元的红外传输理论 | 第15-20页 |
| 2.1 红外辐射与传输 | 第15-16页 |
| 2.1.1 红外辐射特性与规律 | 第15-16页 |
| 2.1.2 红外辐射在大气中的传输 | 第16页 |
| 2.2 红外探测器 | 第16-18页 |
| 2.2.1 红外测辐射热计 | 第16-17页 |
| 2.2.2 红外焦平面阵列 | 第17-18页 |
| 2.3 表面等离激元 | 第18-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 3 微测辐射热计的热吸收设计和优化 | 第20-27页 |
| 3.1 微测辐射热计的建模 | 第20-21页 |
| 3.2 基础模型的仿真与优化 | 第21-23页 |
| 3.2.1 热仿真 | 第21-22页 |
| 3.2.2 电致加热的影响 | 第22-23页 |
| 3.3 热学仿真的分析和优化 | 第23-26页 |
| 3.3.1 悬臂梁宽度的影响 | 第23-24页 |
| 3.3.2 模型钝化层厚度对性能的影响 | 第24-26页 |
| 3.3.3 改进模型及其仿真效果 | 第26页 |
| 3.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 4 基于等离激元的模型光学设计与优化 | 第27-48页 |
| 4.1 光栅设计理论模型 | 第27-28页 |
| 4.2 微测辐射热计优化模型I | 第28-35页 |
| 4.2.1 模型I的结构参数的优化 | 第29-30页 |
| 4.2.2 光栅参数的调整 | 第30-31页 |
| 4.2.3 优化模型仿真 | 第31-34页 |
| 4.2.4 优化模型I结论 | 第34-35页 |
| 4.3 微测辐射热计优化模型II | 第35-39页 |
| 4.3.1 模型II的结构参数的调整 | 第35-36页 |
| 4.3.2 光栅参数的调整 | 第36-37页 |
| 4.3.3 优化模型仿真 | 第37-39页 |
| 4.3.4 优化模型II结论 | 第39页 |
| 4.4 微测辐射热计优化模型III | 第39-44页 |
| 4.4.1 模型III的结构参数的调整 | 第39-40页 |
| 4.4.2 光栅参数的调整 | 第40-41页 |
| 4.4.3 优化模型仿真 | 第41-43页 |
| 4.4.4 优化模型III结论 | 第43-44页 |
| 4.5 一种多级光栅优化模型仿真 | 第44-47页 |
| 4.5.1 优化模型仿真 | 第44-46页 |
| 4.5.2 多级优化模型结论 | 第46-47页 |
| 4.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 总结与展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-54页 |
| 发表论文情况 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
