摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
第1章 绪论 | 第9-18页 |
1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9页 |
1.2 国内外研究现状 | 第9-17页 |
1.2.1 基于毛细作用的微构件转移理论研究现状 | 第10-11页 |
1.2.2 基于毛细作用的微构件转移工具研究现状 | 第11-14页 |
1.2.3 面向微构件转移的液体获取方法研究现状 | 第14-17页 |
1.3 课题来源 | 第17页 |
1.4 主要研究内容 | 第17-18页 |
第2章 基于单探针和液滴辅助的微构件转移方法 | 第18-28页 |
2.1 引言 | 第18页 |
2.2 基于毛细作用的微构件转移原理 | 第18-22页 |
2.2.1 润湿特性对液体接触角的影响 | 第18-19页 |
2.2.2 基于毛细作用的微构件转移可行性分析 | 第19-21页 |
2.2.3 微构件转移过程中自校准分析 | 第21-22页 |
2.3 基于单探针和液滴辅助的微构件转移方法 | 第22-25页 |
2.3.1 探针型和毛细管型操作工具的比较 | 第22-23页 |
2.3.2 单探针末端微量液滴的获取方法 | 第23-24页 |
2.3.3 基于液滴辅助的双液桥式微构件释放策略 | 第24页 |
2.3.4 基于微力传感探针和液滴辅助的微构件转移方法 | 第24-25页 |
2.4 基于单探针和液滴辅助的微构件转移过程 | 第25-27页 |
2.5 本章小结 | 第27-28页 |
第3章 基于单探针和液滴辅助的微构件转移仿真研究 | 第28-48页 |
3.1 引言 | 第28页 |
3.2 面向微构件转移的探针末端微量液体获取方法静态仿真 | 第28-33页 |
3.2.1 幂律曲面-平面毛细作用力建模 | 第28-30页 |
3.2.2 微量液体获取能力参数分析 | 第30-33页 |
3.3 单探针式微构件柔顺拾取方法静态仿真 | 第33-36页 |
3.3.1 幂律曲面-微球毛细作用力建模 | 第33-34页 |
3.3.2 经典JKR的球-平面粘着接触模型 | 第34页 |
3.3.3 微构件拾取过程中毛细拾取力 | 第34-35页 |
3.3.4 单探针式微构件拾取可行性验证 | 第35-36页 |
3.4 液滴辅助式微构件柔顺释放方法静态仿真 | 第36-39页 |
3.4.1 球-平面毛细作用力经典模型 | 第36-37页 |
3.4.2 微构件释放过程中毛细释放力 | 第37-38页 |
3.4.3 液滴辅助式微构件释放方法可行性验证 | 第38-39页 |
3.5 面向微构件转移的探针末端微量液体获取过程动态仿真 | 第39-43页 |
3.5.1 微量液体获取模型 | 第39-41页 |
3.5.2 断裂距离和微量液体获取能力分析 | 第41-43页 |
3.6 液滴辅助式微构件柔顺释放过程动态仿真 | 第43-47页 |
3.6.1 微构件释放模型 | 第43-44页 |
3.6.2 微构件释放过程动态仿真计算 | 第44-47页 |
3.7 本章小结 | 第47-48页 |
第4章 基于单探针和液滴辅助的微构件转移实验研究 | 第48-64页 |
4.1 引言 | 第48页 |
4.2 基于单探针和液滴辅助式的微构件转移系统建立 | 第48-51页 |
4.3 实验参数确定方案 | 第51-52页 |
4.4 面向微构件转移的探针末端微量液体获取实验研究 | 第52-55页 |
4.4.1 基底材料对获取的微量液体体积的影响 | 第53-54页 |
4.4.2 提升速度对液体获取的液体体积的影响 | 第54-55页 |
4.5 单探针式微构件柔顺拾取实验研究 | 第55-58页 |
4.5.1 微构件拾取过程中的毛细力动态变化 | 第56-57页 |
4.5.2 微构件尺寸对最大毛细拾取力的影响 | 第57-58页 |
4.5.3 基底材料对最大毛细拾取力的影响 | 第58页 |
4.6 液滴辅助式微构件释放实验研究 | 第58-63页 |
4.6.1 上液桥体积对其毛细力及断裂距离的影响 | 第60-61页 |
4.6.2 基底材料对微构件释放可靠性的影响 | 第61-62页 |
4.6.3 液滴辅助式释放精度 | 第62-63页 |
4.7 本章小结 | 第63-64页 |
结论 | 第64-65页 |
参考文献 | 第65-69页 |
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第69-71页 |
致谢 | 第71页 |