片上集成螺旋型微电感的设计与制备
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 论文背景 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究状况 | 第11-12页 |
| 1.3 电感的主要参数与影响因素 | 第12-21页 |
| 1.3.1 电感器的主要分类 | 第12-15页 |
| 1.3.2 电感器的主要参数及数值计算 | 第15-20页 |
| 1.3.3 磁芯材料及磁芯损耗简介 | 第20-21页 |
| 1.4 论文的主要安排计划 | 第21-23页 |
| 第二章 集成微电感的关键工艺研究 | 第23-37页 |
| 2.1 磁芯材料的制备与性能测试 | 第23-27页 |
| 2.1.1 磁控溅射原理 | 第23-24页 |
| 2.1.2 磁芯材料的测试与分析 | 第24-27页 |
| 2.2 光刻剥离工艺研究 | 第27-29页 |
| 2.2.1 光刻剥离工艺简介 | 第27-28页 |
| 2.2.2 光刻胶及其工艺研究 | 第28-29页 |
| 2.3 聚酰亚胺工艺研究 | 第29-32页 |
| 2.3.1 聚酰亚胺简介 | 第29页 |
| 2.3.2 聚酰亚胺固化工艺研究 | 第29-30页 |
| 2.3.3 聚酰亚胺刻蚀工艺研究 | 第30-32页 |
| 2.4 电镀铜工艺研究 | 第32-35页 |
| 2.4.1 电镀铜原理简介 | 第32-33页 |
| 2.4.2 电镀铜工艺研究及分析 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 空心微电感的仿真与制作 | 第37-46页 |
| 3.1 空心电感的设计建模与仿真 | 第37-40页 |
| 3.2 空心电感的制备 | 第40-42页 |
| 3.2.1 空心电感的版图设计 | 第40-41页 |
| 3.2.2 空心电感的制备工艺 | 第41-42页 |
| 3.3 空心电感的测试及分析 | 第42-45页 |
| 3.3.1 电感的测试原理 | 第42-44页 |
| 3.3.2 电感的测试与分析 | 第44-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 磁芯微电感的仿真与制作 | 第46-56页 |
| 4.1 磁芯电感的设计建模与仿真 | 第46-50页 |
| 4.2 磁芯电感的制作 | 第50-54页 |
| 4.2.1 磁芯电感的版图设计 | 第50-52页 |
| 4.2.2 磁芯电感的工艺流程及分析 | 第52-54页 |
| 4.3 磁芯电感的测试与分析 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 结论 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第61-62页 |
