| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-30页 |
| 1.1 传感器和现代科技 | 第14-16页 |
| 1.1.1 传感器的应用 | 第14-15页 |
| 1.1.2 传感器的发展方向 | 第15-16页 |
| 1.2 湿度传感器发展现状 | 第16-27页 |
| 1.2.1 湿度传感器的发展 | 第16-18页 |
| 1.2.2 微型化湿度传感器 | 第18-27页 |
| 1.3 CeO_2纳米材料发展现状 | 第27-29页 |
| 1.3.1 CeO_2纳米材料的应用 | 第27-28页 |
| 1.3.2 CeO_2纳米材料的研究现状 | 第28-29页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第29-30页 |
| 第2章 CeO_2纳米颗粒的制备 | 第30-37页 |
| 2.1 CeO_2纳米颗粒制备的现状 | 第30-35页 |
| 2.2 CeO_2纳米颗粒的制备 | 第35页 |
| 2.2.1 实验试剂 | 第35页 |
| 2.2.2 实验仪器 | 第35页 |
| 2.2.3 实验过程 | 第35页 |
| 2.3 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 CeO_2纳米颗粒的表征 | 第37-48页 |
| 3.1 CeO_2的基本性质 | 第37页 |
| 3.2 材料分析的重要性 | 第37-38页 |
| 3.3 材料分析的基本内容 | 第38-40页 |
| 3.3.1 材料结构的测定 | 第38-39页 |
| 3.3.2 材料的形貌分析 | 第39-40页 |
| 3.4 CeO_2纳米颗粒结构的测定 | 第40-42页 |
| 3.5 CeO_2纳米颗粒形貌的观察 | 第42-46页 |
| 3.5.1 扫描电子显微镜(SEM)表征 | 第42-44页 |
| 3.5.2 透射电子显微镜(TEM)表征 | 第44页 |
| 3.5.3 高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)表征 | 第44-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-48页 |
| 第4章 CeO_2纳米颗粒湿度传感器的制作 | 第48-58页 |
| 4.1 湿度传感器制作现状 | 第48-56页 |
| 4.1.1 微机电(MEMS)技术 | 第48-51页 |
| 4.1.2 电阻式湿度传感器类型 | 第51-56页 |
| 4.2 CeO_2纳米颗粒湿度传感器的制作 | 第56-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 CeO_2纳米颗粒湿度传感器性能的测量 | 第58-69页 |
| 5.1 湿度的表示方法 | 第58-59页 |
| 5.2 CeO_2纳米颗粒湿度传感器的测量 | 第59-60页 |
| 5.3 CeO_2纳米颗粒湿度传感器性能分析 | 第60-67页 |
| 5.3.1 传感器的Ⅰ-Ⅴ曲线分析 | 第60-61页 |
| 5.3.2 传感器对湿度的响应 | 第61-62页 |
| 5.3.3 传感器的湿度量程 | 第62-63页 |
| 5.3.4 传感器的响应时间和恢复时间 | 第63-65页 |
| 5.3.5 传感器的灵敏度 | 第65-66页 |
| 5.3.6 传感器的感湿特性曲线特性曲线 | 第66页 |
| 5.3.7 传感器的重复性 | 第66-67页 |
| 5.3.8 传感器的选择性 | 第67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-69页 |
| 第6章 CeO_2纳米颗粒湿度传感器的感湿机理 | 第69-72页 |
| 6.1 CeO_2纳米颗粒湿度传感器的离子导电 | 第69-71页 |
| 6.2 本章小结 | 第71-72页 |
| 第7章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 7.1 论文工作总结 | 第72页 |
| 7.2 展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |