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PCBN涂层刀具制备及性能研究

摘要第5-7页
abstract第7-8页
1.绪论第11-31页
    1.1 引言第11页
    1.2 国内外发展现状第11-24页
        1.2.1 刀具发展现状第11-20页
        1.2.2 加工技术发展现状第20-23页
        1.2.3 刀具磨损、破损和刀具寿命的研究现状第23-24页
    1.3 薄膜技术的发展第24-30页
        1.3.1 涂层种类及应用发展现状第24-26页
        1.3.2 薄膜制备技术发展现状第26-30页
    1.4 本课题的主要研究内容第30-31页
2.实验方案及方法第31-35页
    2.1 实验材料及预处理过程第31-32页
    2.2 薄膜的分析测试方法第32-35页
3.低温沉积CrN薄膜制备工艺研究第35-52页
    3.1 直流磁控溅射涂层结果与分析第35-47页
        3.1.0 CrN涂层表面形貌及表面粗糙度第35-37页
        3.1.1 氮气流量对涂层成分的影响第37-39页
        3.1.2 实验参数对物相的影响第39-42页
        3.1.3 不同温度下CrN表面形貌及基体形貌第42-45页
        3.1.4 溅射电流对涂层厚度的影响第45-46页
        3.1.5 溅射时间与涂层硬度之间的关系第46-47页
    3.2 射频法制备CrN涂层结果及分析第47-49页
        3.2.1 实验参数对涂层物相的影响第47-49页
    3.3 CrN涂层平均摩擦系数第49-51页
    3.4 本章小结第51-52页
4.低温沉积TiN薄膜制备工艺研究第52-65页
    4.1 直流磁控溅射TiN涂层结果与讨论第52-60页
        4.1.1 试验参数对TiN涂层的物相组成的影响第52-56页
        4.1.2 试验参数对涂层厚度第56-58页
        4.1.3 时间对涂层显微硬度的影响第58-60页
    4.2 射频法制备TiN涂层结果与讨论第60-64页
        4.2.1 实验参数对涂层物相组成的影响第60-61页
        4.2.2 射频法制备涂层的表面形貌第61-62页
        4.2.3 TiN涂层的平均摩擦系数第62-64页
    4.3 本章小结第64-65页
结论第65-66页
参考文献第66-69页
致谢第69-70页
攻读硕士期间主要研究成果第70页

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