PCBN涂层刀具制备及性能研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 1.绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第11-24页 |
| 1.2.1 刀具发展现状 | 第11-20页 |
| 1.2.2 加工技术发展现状 | 第20-23页 |
| 1.2.3 刀具磨损、破损和刀具寿命的研究现状 | 第23-24页 |
| 1.3 薄膜技术的发展 | 第24-30页 |
| 1.3.1 涂层种类及应用发展现状 | 第24-26页 |
| 1.3.2 薄膜制备技术发展现状 | 第26-30页 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 | 第30-31页 |
| 2.实验方案及方法 | 第31-35页 |
| 2.1 实验材料及预处理过程 | 第31-32页 |
| 2.2 薄膜的分析测试方法 | 第32-35页 |
| 3.低温沉积CrN薄膜制备工艺研究 | 第35-52页 |
| 3.1 直流磁控溅射涂层结果与分析 | 第35-47页 |
| 3.1.0 CrN涂层表面形貌及表面粗糙度 | 第35-37页 |
| 3.1.1 氮气流量对涂层成分的影响 | 第37-39页 |
| 3.1.2 实验参数对物相的影响 | 第39-42页 |
| 3.1.3 不同温度下CrN表面形貌及基体形貌 | 第42-45页 |
| 3.1.4 溅射电流对涂层厚度的影响 | 第45-46页 |
| 3.1.5 溅射时间与涂层硬度之间的关系 | 第46-47页 |
| 3.2 射频法制备CrN涂层结果及分析 | 第47-49页 |
| 3.2.1 实验参数对涂层物相的影响 | 第47-49页 |
| 3.3 CrN涂层平均摩擦系数 | 第49-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 4.低温沉积TiN薄膜制备工艺研究 | 第52-65页 |
| 4.1 直流磁控溅射TiN涂层结果与讨论 | 第52-60页 |
| 4.1.1 试验参数对TiN涂层的物相组成的影响 | 第52-56页 |
| 4.1.2 试验参数对涂层厚度 | 第56-58页 |
| 4.1.3 时间对涂层显微硬度的影响 | 第58-60页 |
| 4.2 射频法制备TiN涂层结果与讨论 | 第60-64页 |
| 4.2.1 实验参数对涂层物相组成的影响 | 第60-61页 |
| 4.2.2 射频法制备涂层的表面形貌 | 第61-62页 |
| 4.2.3 TiN涂层的平均摩擦系数 | 第62-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士期间主要研究成果 | 第70页 |
