| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 铁电体材料发展概述 | 第9-11页 |
| 1.2 锆钛酸铅PZT铁电材料 | 第11-13页 |
| 1.3 铁电存储器简介 | 第13-18页 |
| 1.4 本文研究的背景和意义 | 第18-19页 |
| 参考文献 | 第19-21页 |
| 第二章 铁电薄膜的制备工艺与表征手段 | 第21-42页 |
| 2.1 铁电薄膜的制备工艺 | 第21-26页 |
| 2.1.1 溶胶-凝胶旋涂淀积 | 第21-23页 |
| 2.1.2 溅射法淀积 | 第23-25页 |
| 2.1.3 金属-有机化学汽相淀积MOCVD | 第25页 |
| 2.1.4 脉冲激光淀积PLD | 第25-26页 |
| 2.2 铁电薄膜的分析方法 | 第26-40页 |
| 2.2.1 相结构XRD分析 | 第26-28页 |
| 2.2.2 扫描电镜分析 | 第28-30页 |
| 2.2.3 原子力显微镜分析 | 第30-37页 |
| 2.2.4 电学测量分析 | 第37-40页 |
| 参考文献 | 第40-42页 |
| 第三章 PZT铁电薄膜的制备和表征 | 第42-62页 |
| 3.1 引言 | 第42页 |
| 3.2 PZT铁电薄膜的制备 | 第42-51页 |
| 3.2.1 先体的配置过程 | 第43-44页 |
| 3.2.2 铂金衬底的制备 | 第44-46页 |
| 3.2.3 旋涂法制备PZT薄膜 | 第46-48页 |
| 3.2.4 上电极的加工 | 第48-51页 |
| 3.3 金/PZT铁电薄膜/金电容结构(FeCAP)的制备流程 | 第51-52页 |
| 3.4 PZT铁电薄膜的表征 | 第52-60页 |
| 3.4.1 PZT铁电薄膜的XRD测量 | 第52-53页 |
| 3.4.2 PZT铁电薄膜的原子力显微镜形貌测试 | 第53-55页 |
| 3.4.3 PZT铁电薄膜的压电测试 | 第55-59页 |
| 3.4.4 PZT铁电薄膜的铁电测试 | 第59-60页 |
| 3.4.5 PZT铁电薄膜的C-V测试 | 第60页 |
| 3.5 本章小结 | 第60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 第四章 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构的氢气退火研究 | 第62-81页 |
| 4.1 引言 | 第62页 |
| 4.2 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构的器件制备和实验方法 | 第62-65页 |
| 4.2.1 PZT铁电先体的制备 | 第62页 |
| 4.2.2 PZT铁电薄膜的制备 | 第62-63页 |
| 4.2.3 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构器件的制备流程 | 第63-65页 |
| 4.2.4 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构氢气退火的实验方法 | 第65页 |
| 4.3 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构氢气退火的测试与分析 | 第65-76页 |
| 4.3.1 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构氢气退火的电滞回线测试和分析 | 第65-66页 |
| 4.3.2 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构氢气退火后在氧气中退火的铁电性恢复 | 第66-68页 |
| 4.3.3 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构氢气退火的漏电流测试与分析 | 第68页 |
| 4.3.4 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构氢气退火的疲劳特性测试与分析 | 第68-69页 |
| 4.3.5 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构氢气退火的形貌测试与分析 | 第69-73页 |
| 4.3.6 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构氢气退火的XRD测试与分析 | 第73页 |
| 4.3.7 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构氢气退火的PFM压电性测试与分析 | 第73-76页 |
| 4.4 铂金/PZT铁电薄膜/铂金电容结构在氢气退火的失效机理分析 | 第76-78页 |
| 4.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |
| 第五章 总结与展望 | 第81-84页 |
| 5.1 总结 | 第81-82页 |
| 5.2 展望 | 第82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
