| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 ZnO薄膜的特点 | 第13-15页 |
| 1.1.1 ZnO薄膜的结构性质 | 第13-14页 |
| 1.1.2 ZnO薄膜的应用 | 第14-15页 |
| 1.2 ZnO薄膜的制备方法 | 第15-21页 |
| 1.2.1 磁控溅射法 | 第15-16页 |
| 1.2.2 分子束外延法 | 第16-17页 |
| 1.2.3 真空蒸发沉积法 | 第17-18页 |
| 1.2.4 化学气相沉积法 | 第18-19页 |
| 1.2.5 喷雾热分解法 | 第19页 |
| 1.2.6 溶胶凝胶法 | 第19-21页 |
| 1.3 溶胶凝胶法(Sol-Gel) | 第21-23页 |
| 1.3.1 原理 | 第21页 |
| 1.3.2 工艺流程 | 第21-23页 |
| 1.3.3 溶胶凝胶法的特点 | 第23页 |
| 1.4 溶胶凝胶法制备ZnO薄膜的研究进展 | 第23-24页 |
| 1.5 本文研究内容及意义 | 第24-26页 |
| 第二章 实验与分析手段 | 第26-34页 |
| 2.1 实验 | 第26-28页 |
| 2.1.1 实验试剂 | 第26页 |
| 2.1.2 实验仪器 | 第26-27页 |
| 2.1.3 实验流程 | 第27-28页 |
| 2.2 分析手段 | 第28-34页 |
| 2.2.1 XRD | 第28-30页 |
| 2.2.2 扫描电镜(SEM) | 第30-31页 |
| 2.2.3 紫外-可见分光光度计(UV-Vis) | 第31页 |
| 2.2.4 台阶仪 | 第31-32页 |
| 2.2.5 四探针测试仪 | 第32-34页 |
| 第三章 工艺参数对ZnO薄膜性能的影响 | 第34-50页 |
| 3.1 提拉速度对ZnO薄膜性能的影响 | 第34-39页 |
| 3.1.1 结构分析 | 第34-36页 |
| 3.1.2 形貌分析 | 第36-37页 |
| 3.1.3 光学性质 | 第37-38页 |
| 3.1.4 薄膜厚度的分析 | 第38-39页 |
| 3.2 退火温度对ZnO薄膜性能的影响 | 第39-42页 |
| 3.2.1 结构性质 | 第39-40页 |
| 3.2.2 表面形貌 | 第40-41页 |
| 3.2.3 光学性质 | 第41-42页 |
| 3.3 膜层数对ZnO薄膜性能的影响 | 第42-45页 |
| 3.3.1 结构性质 | 第42-43页 |
| 3.3.2 表面形貌 | 第43-44页 |
| 3.3.3 光学性质 | 第44页 |
| 3.3.4 薄膜厚度 | 第44-45页 |
| 3.4 前驱物浓度对ZnO薄膜性能的影响 | 第45-49页 |
| 3.4.1 结构性质 | 第46-47页 |
| 3.4.2 表面形貌 | 第47-48页 |
| 3.4.3 光学性质 | 第48-49页 |
| 3.5 本章结论 | 第49-50页 |
| 第四章 工艺参数对掺铝氧化锌(AZO)薄膜性能的影响 | 第50-61页 |
| 4.1 掺杂量对AZO薄膜性能的影响 | 第50-54页 |
| 4.1.1 结构性质 | 第50-52页 |
| 4.1.2 表面形貌 | 第52-53页 |
| 4.1.3 光学性质 | 第53-54页 |
| 4.2 膜层数对AZO薄膜性能的影响 | 第54-57页 |
| 4.2.1 结构性质 | 第54页 |
| 4.2.2 表面形貌 | 第54-55页 |
| 4.2.3 光学性质 | 第55-56页 |
| 4.2.4 电学性质 | 第56-57页 |
| 4.3 提拉速度对AZO薄膜性能的影响 | 第57-60页 |
| 4.3.1 结构性质 | 第57-58页 |
| 4.3.2 表面形貌 | 第58页 |
| 4.3.3 光学性质 | 第58-59页 |
| 4.3.4 电学性质 | 第59-60页 |
| 4.4 本章结论 | 第60-61页 |
| 第五章 ZnO薄膜光催化性能的研究 | 第61-81页 |
| 5.1 概述 | 第61-62页 |
| 5.2 实验 | 第62-63页 |
| 5.2.1 光催化的原理 | 第62-63页 |
| 5.2.2 实验流程 | 第63页 |
| 5.3 结果和讨论 | 第63-74页 |
| 5.3.1 紫外光源对ZnO薄膜光催化性能的影响 | 第63-66页 |
| 5.3.2 提拉速度对ZnO薄膜催化性能的影响 | 第66-69页 |
| 5.3.3 膜层数及掺杂铝对ZnO薄膜光催化性能的影响 | 第69-74页 |
| 5.4 运用生物技术提高ZnO薄膜光催化效率的探究 | 第74-80页 |
| 5.4.1 概述 | 第74页 |
| 5.4.2 实验 | 第74-75页 |
| 5.4.3 分析及讨论 | 第75-80页 |
| 5.5 本章结论 | 第80-81页 |
| 第六章 全文结论 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-88页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
