| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第11-46页 |
| 1.1 硅基光源 | 第11-14页 |
| 1.2 硅量子点的特性及应用 | 第14-23页 |
| 1.3 含硅量子点氮化硅发光器件面临的挑战 | 第23-25页 |
| 1.4 硅量子点生长与氮化硅薄膜沉积 | 第25-29页 |
| 1.5 氮化硅薄膜的发光及载流子输运研究进展 | 第29-44页 |
| 1.6 本文主要工作及结构 | 第44-46页 |
| 2 含硅量子点氮化硅薄膜的制备及分析方法 | 第46-62页 |
| 2.1 引言 | 第46页 |
| 2.2 含硅量子点氮化硅薄膜的制备 | 第46-50页 |
| 2.3 含硅量子点氮化硅薄膜表征 | 第50-61页 |
| 2.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 3 富硅氮化硅薄膜中硅量子点生长机理及微结构演化 | 第62-87页 |
| 3.1 引言 | 第62页 |
| 3.2 实验方法 | 第62-64页 |
| 3.3 结果与分析 | 第64-85页 |
| 3.4 本章小结 | 第85-87页 |
| 4 含硅量子点氮化硅薄膜光致发光机理研究 | 第87-110页 |
| 4.1 引言 | 第87-88页 |
| 4.2 实验方法 | 第88-89页 |
| 4.3 结果与分析 | 第89-108页 |
| 4.4 本章小结 | 第108-110页 |
| 5 含硅量子点氮化硅薄膜电致发光及载流子输运机理 | 第110-133页 |
| 5.1 引言 | 第110-111页 |
| 5.2 含硅量子点氮化硅LED设计及制备 | 第111-114页 |
| 5.3 含硅量子点氮化硅LED电致发光及载流子传输机理 | 第114-132页 |
| 5.4 本章小结 | 第132-133页 |
| 6 总结与展望 | 第133-136页 |
| 6.1 本文的主要结论 | 第133-135页 |
| 6.2 后续研究展望 | 第135-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
| 参考文献 | 第137-154页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的主要论文 | 第154-156页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请的专利 | 第156页 |