| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-28页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-13页 |
| 1.2 元件参数高精度测量方法及仪器的研究现状 | 第13-20页 |
| 1.3 发展趋势及论文研究目的 | 第20-26页 |
| 1.3.1 激光差动共焦元件参数测量新方法 | 第20-25页 |
| 1.3.2 多参数综合测量仪器 | 第25-26页 |
| 1.3.3 论文研究目的 | 第26页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 激光差动共焦干涉元件参数测量原理 | 第28-57页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 激光差动共焦干涉元件参数测量原理 | 第28-29页 |
| 2.3 激光差动共焦测量系统三维点扩散函数定焦模型及关键参数影响 | 第29-37页 |
| 2.3.1 测量系统三维点扩散函数定焦模型 | 第30-33页 |
| 2.3.2 定焦灵敏度及点探测器最佳离焦量 | 第33-36页 |
| 2.3.3 点探测器针孔的最佳尺度选择 | 第36-37页 |
| 2.4 激光差动共焦测量系统传递函数及像差对定焦的影响 | 第37-47页 |
| 2.4.1 激光差动共焦测量系统传递函数模型 | 第38-40页 |
| 2.4.2 无像差系统的定焦模型分析 | 第40-43页 |
| 2.4.3 波像差对差动共焦定焦性能的影响 | 第43-47页 |
| 2.4.4 移相干涉测量模块对差动共焦测量模块的影响分析 | 第47页 |
| 2.5 移相干涉测量模块 | 第47-55页 |
| 2.5.1 移相干涉测量功能实现 | 第47-48页 |
| 2.5.2 相位提取算法 | 第48-50页 |
| 2.5.3 相位解包裹算法 | 第50-52页 |
| 2.5.4 Zernike多项式波面拟合算法 | 第52-54页 |
| 2.5.5 差动共焦测量模块对移相干涉测量模块的影响分析 | 第54-55页 |
| 2.6 本章小结 | 第55-57页 |
| 第3章 激光差动共焦干涉元件参数高精度测量方法 | 第57-81页 |
| 3.1 引言 | 第57页 |
| 3.2 激光差动共焦干涉球面面形及曲率半径的高精度测量方法 | 第57-67页 |
| 3.2.1 移相干涉球面面形高精度测量 | 第58-59页 |
| 3.2.2 激光差动共焦曲率半径高精度测量 | 第59-60页 |
| 3.2.3 系统像差和球面面形对曲率半径测量的影响及矫正 | 第60-67页 |
| 3.3 激光差动共焦干涉透镜波前畸变及焦距的高精度测量方法 | 第67-79页 |
| 3.3.1 移相干涉透镜波前畸变高精度测量 | 第68-69页 |
| 3.3.2 激光差动共焦透镜焦距高精度测量 | 第69-70页 |
| 3.3.3 系统像差和透镜波前畸变对透镜焦距测量的影响及矫正 | 第70-79页 |
| 3.4 本章小结 | 第79-81页 |
| 第4章 激光差动共焦干涉元件参数综合测量系统的构建 | 第81-105页 |
| 4.1 引言 | 第81页 |
| 4.2 测量系统构成及工作方式 | 第81-87页 |
| 4.2.1 测量系统构成 | 第81-83页 |
| 4.2.2 测量系统研制 | 第83-84页 |
| 4.2.3 测量系统软件 | 第84-87页 |
| 4.3 测量系统和标准镜的波像差标定 | 第87-90页 |
| 4.3.1 测量系统波像差W1(ξ,η)的标定 | 第88-89页 |
| 4.3.2 标准镜波像差W2(ξ,η)的标定 | 第89-90页 |
| 4.4 激光差动共焦干涉元件参数测量的误差源分析 | 第90-104页 |
| 4.4.1 移相干涉球面面形测量误差源 | 第90-93页 |
| 4.4.2 激光差动共焦曲率半径测量误差源 | 第93-99页 |
| 4.4.3 移相干涉透镜波前畸变测量误差源 | 第99-101页 |
| 4.4.4 激光差动共焦透镜焦距测量误差源 | 第101-104页 |
| 4.5 本章小结 | 第104-105页 |
| 第5章 系统性能与元件参数测量实验分析 | 第105-133页 |
| 5.1 引言 | 第105页 |
| 5.2 测量系统差动共焦定焦性能及移相干涉测量性能测试 | 第105-109页 |
| 5.2.1 测量系统差动共焦定焦性能测试 | 第105-107页 |
| 5.2.2 测量系统移相干涉测量模块性能测试 | 第107-109页 |
| 5.3 球面面形和曲率半径测量实验及不确定度评定 | 第109-120页 |
| 5.3.1 凹球面面形和曲率半径测量实验 | 第109-115页 |
| 5.3.2 凸球面面形和曲率半径测量实验 | 第115-120页 |
| 5.4 透镜波前畸变和焦距测量实验及不确定度评定 | 第120-131页 |
| 5.4.1 正透镜波前畸变和焦距测量实验 | 第121-126页 |
| 5.4.2 负透镜波前畸变和焦距测量实验 | 第126-131页 |
| 5.5 本章小结 | 第131-133页 |
| 第6章 结论和展望 | 第133-136页 |
| 6.1 工作总结 | 第133-134页 |
| 6.2 创新点 | 第134页 |
| 6.3 展望 | 第134-136页 |
| 参考文献 | 第136-143页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第143-144页 |
| 攻读博士学位期间授权的发明专利 | 第144-145页 |
| 攻读博士学位期间参与的科研项目及获得的奖励 | 第145-146页 |
| 致谢 | 第146-147页 |
| 作者简介 | 第147页 |
