反应精馏用于硅烷法生产多晶硅过程的模拟研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 前言 | 第10-11页 |
| 1.2 多晶硅性质及其应用 | 第11页 |
| 1.2.1 多晶硅的性质 | 第11页 |
| 1.2.2 多晶硅的用途 | 第11页 |
| 1.3 国内外多晶硅产业的发展状况 | 第11-13页 |
| 1.3.1 我国多晶硅产业的发展状况 | 第12页 |
| 1.3.2 国外多晶硅产业的发展状况 | 第12-13页 |
| 1.4 多晶硅生产技术 | 第13-18页 |
| 1.4.1 三氯氢硅氢还原法——改良西门子法 | 第13-15页 |
| 1.4.2 硅烷热分解法 | 第15-16页 |
| 1.4.3 流化床法 | 第16页 |
| 1.4.4 冶金法 | 第16-17页 |
| 1.4.5 其它方法 | 第17-18页 |
| 1.5 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 反应精馏技术 | 第19-26页 |
| 2.1 反应精馏技术介绍 | 第19-22页 |
| 2.1.1 反应精馏技术的发展与特点 | 第19-20页 |
| 2.1.2 反应精馏过程的模型 | 第20-22页 |
| 2.2 主要分析方法 | 第22-25页 |
| 2.2.1 热力学分析 | 第23-24页 |
| 2.2.2 经济分析 | 第24-25页 |
| 2.3 本文的主要研究内容 | 第25-26页 |
| 第三章 反应精馏在硅烷热分解法中的应用 | 第26-46页 |
| 3.1 硅烷热分解法存在的问题 | 第26-28页 |
| 3.1.1 硅烷热分解法发展制约因素 | 第26页 |
| 3.1.2 三氯氢硅歧化反应 | 第26-28页 |
| 3.2 常规RD塔模拟与优化 | 第28-44页 |
| 3.2.1 热力学模型选择 | 第28-31页 |
| 3.2.2 歧化反应动力学 | 第31-32页 |
| 3.2.3 工艺流程描述 | 第32-34页 |
| 3.2.4 基本参数确定 | 第34-37页 |
| 3.2.5 灵敏度分析 | 第37-41页 |
| 3.2.6 结果讨论 | 第41-44页 |
| 3.2.7 剖面分析 | 第44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 增加中间冷凝器构型模拟与优化 | 第46-69页 |
| 4.1 添加一个中间冷凝器 | 第46-56页 |
| 4.1.1 可行性分析 | 第46-47页 |
| 4.1.2 基本参数 | 第47-48页 |
| 4.1.3 灵敏度分析 | 第48-52页 |
| 4.1.4 结果讨论 | 第52-54页 |
| 4.1.5 剖面分析 | 第54-56页 |
| 4.2 添加两个中间冷凝器 | 第56-66页 |
| 4.2.1 可行性分析 | 第56页 |
| 4.2.2 基本参数 | 第56-57页 |
| 4.2.3 灵敏度分析 | 第57-61页 |
| 4.2.4 结果讨论 | 第61-64页 |
| 4.2.5 剖面分析 | 第64-66页 |
| 4.3 热力学效率计算 | 第66页 |
| 4.4 经济性分析 | 第66-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 双塔构型模拟与优化 | 第69-80页 |
| 5.1 稳态模拟 | 第69-71页 |
| 5.1.1 流程描述 | 第69-70页 |
| 5.1.2 基本参数确定 | 第70-71页 |
| 5.2 灵敏度分析 | 第71-76页 |
| 5.2.1 反应精馏塔D1 | 第71-75页 |
| 5.2.2 高压分离塔D2 | 第75-76页 |
| 5.3 结果讨论 | 第76-77页 |
| 5.4 经济评价 | 第77-79页 |
| 5.5 小结 | 第79-80页 |
| 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
