| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 气敏传感器 | 第10-12页 |
| 1.1.1 气敏传感器的研究背景 | 第10页 |
| 1.1.2 气敏传感器的分类 | 第10-12页 |
| 1.2 氧化物半导体纳米材料气敏传感器 | 第12-14页 |
| 1.2.1 氧化物半导体纳米材料 | 第12页 |
| 1.2.2 氧化物半导体纳米材料气敏传感器 | 第12-14页 |
| 1.3 铜氧化物在传感器方面的应用及常用制备方法 | 第14-15页 |
| 1.3.1 CuO在气敏传感器方面的应用 | 第14页 |
| 1.3.2 纳米CuO材料的常用制备方法 | 第14-15页 |
| 1.4 论文的创新点及研究内容 | 第15-17页 |
| 1.4.1 本论文的创新点 | 第15-16页 |
| 1.4.2 论文的主要研究工作 | 第16-17页 |
| 第二章 CuO纳米材料气敏传感器 | 第17-25页 |
| 2.1 纳米CuO气敏传感器器件结构 | 第17-18页 |
| 2.2 纳米CuO气敏传感器性能指标 | 第18-19页 |
| 2.2.1 最佳工作温度 | 第18页 |
| 2.2.2 灵敏度 | 第18页 |
| 2.2.3 响应/恢复时间 | 第18页 |
| 2.2.4 选择性 | 第18-19页 |
| 2.2.5 稳定性 | 第19页 |
| 2.3 气敏机理 | 第19-22页 |
| 2.3.1 氧吸附形成电子核-壳结构 | 第19-21页 |
| 2.3.2 n型和p型氧化物半导体的传导和气敏机理 | 第21-22页 |
| 2.4 影响气敏性能的主要因素 | 第22页 |
| 2.5 气敏性测试系统结构与工作原理 | 第22-24页 |
| 2.5.1 气敏测试系统结构 | 第22-23页 |
| 2.5.2 气敏测试系统工作原理 | 第23-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 溶胶-凝胶法制备纳米颗粒CuO及其气敏传感器特性研究 | 第25-47页 |
| 3.1 引言 | 第25-26页 |
| 3.2 实验试剂及仪器 | 第26页 |
| 3.3 实验工艺与材料表征 | 第26-32页 |
| 3.3.1 溶胶液的配制 | 第27页 |
| 3.3.2 纳米CuO气敏传感器件的制备 | 第27-28页 |
| 3.3.3 材料的表征 | 第28-32页 |
| 3.4 实验结果与讨论 | 第32-41页 |
| 3.4.1 灵敏度与工作温度的关系 | 第32-33页 |
| 3.4.2 膜厚对纳米颗粒CuO气敏传感器特性的影响 | 第33-34页 |
| 3.4.3 预热时间对纳米颗粒CuO气敏传感器特性的影响 | 第34-35页 |
| 3.4.4 纳米颗粒CuO气敏传感器的响应/恢复时间 | 第35-37页 |
| 3.4.5 灵敏度与气体浓度的关系 | 第37-39页 |
| 3.4.6 CuO纳米颗粒气敏传感器的选择性 | 第39-40页 |
| 3.4.7 CuO纳米颗粒气敏传感器的稳定性 | 第40-41页 |
| 3.5 气敏器件体电阻计算 | 第41-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 掺杂对纳米颗粒CuO气敏传感器件性能的研究 | 第47-58页 |
| 4.1 引言 | 第47-48页 |
| 4.2 实验试剂及仪器 | 第48页 |
| 4.3 Ag掺杂对纳米CuO气敏特性的影响 | 第48-53页 |
| 4.3.1 掺Ag溶胶液的配置 | 第48页 |
| 4.3.2 掺Ag气敏器件的制备 | 第48-49页 |
| 4.3.3 掺Ag气敏器件气敏特性测试 | 第49-53页 |
| 4.4 n型材料ZnO掺杂对纳米CuO气敏特性的影响研究 | 第53-57页 |
| 4.4.1 掺ZnO溶胶液的配置 | 第53-54页 |
| 4.4.2 掺ZnO气敏器件的制备 | 第54页 |
| 4.4.3 掺ZnO气敏器件气敏特性测试 | 第54-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 纳米线状CuO的制备及其传感器气敏特性研究 | 第58-68页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 实验试剂及仪器 | 第58页 |
| 5.3 实验工艺流程及材料表征 | 第58-61页 |
| 5.3.1 CuO纳米线的制备 | 第58-59页 |
| 5.3.2 基于CuO纳米线的气敏传感器的制备 | 第59-60页 |
| 5.3.3 材料表征 | 第60-61页 |
| 5.4 实验结果与讨论 | 第61-66页 |
| 5.4.1 基于纳米线状CuO气敏器件的最佳工作温度 | 第61-62页 |
| 5.4.2 基于纳米线状CuO气敏器件的响应/恢复时间 | 第62-63页 |
| 5.4.3 基于纳米线状CuO气敏器件灵敏度与气体浓度关系 | 第63-65页 |
| 5.4.4 基于纳米线状CuO气敏器件的选择性 | 第65-66页 |
| 5.4.5 基于纳米线状CuO气敏器件的稳定性 | 第66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 工作总结 | 第68页 |
| 6.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 在学期间的研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
