硅纳米线压阻系数尺度效应建模研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.0 研究背景 | 第8页 |
| 1.1 研究目的和意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 硅纳米线的发展现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 硅纳米线传感应用发展现状 | 第13-16页 |
| 1.3 论文主要研究内容和章节安排 | 第16-17页 |
| 2 压阻原理 | 第17-27页 |
| 2.1 压阻效应与尺度的关系 | 第17-20页 |
| 2.2 压阻系数计算 | 第20-24页 |
| 2.3 影响压阻系数的因素 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 硅纳米线压阻系数尺度建模 | 第27-42页 |
| 3.1 硅纳米线压阻系数计算模型 | 第27-30页 |
| 3.1.1 不同晶向压阻系数测试方法 | 第27-28页 |
| 3.1.2 本文压阻系数计算方案 | 第28-29页 |
| 3.1.3 硅纳米线仿真模型 | 第29-30页 |
| 3.2 不同掺杂浓度硅纳米线的压阻系数 | 第30-32页 |
| 3.3 不同尺度硅纳米线的压阻系数 | 第32-41页 |
| 3.3.1 不同长度的硅纳米线的压阻系数 | 第32-35页 |
| 3.3.2 不同宽度的硅纳米线的压阻系数 | 第35-38页 |
| 3.3.3 不同截面积的硅纳米线的压阻系数 | 第38-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 实测数据与仿真数据对比分析 | 第42-51页 |
| 4.1 实际制备尺寸数据模拟仿真 | 第42-46页 |
| 4.2 宽度模拟数据与实测数据对比分析 | 第46-47页 |
| 4.3 截面积模拟数据与实测数据对比分析 | 第47-49页 |
| 4.4 本组实测与仿真数据对比分析 | 第49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
