金属氧化物半导体气体传感器制作及测试分析方法研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 插图索引 | 第12-15页 |
| 附表索引 | 第15-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-27页 |
| 1.1 研究背景和研究意义 | 第16-18页 |
| 1.2 国内外研究现状分析 | 第18-25页 |
| 1.2.1 MOS 气体传感器测试与应用设备研究 | 第18-20页 |
| 1.2.2 MOS 气敏材料与器件制作 | 第20-22页 |
| 1.2.3 MOS 气体传感器温度调制研究 | 第22-24页 |
| 1.2.4 MOS 气体传感器压缩气体源调制研究 | 第24页 |
| 1.2.5 存在的主要问题 | 第24-25页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 MOS 气体传感器特性与测试系统研究 | 第27-61页 |
| 2.1 MOS 气体传感器工作原理 | 第27-31页 |
| 2.1.1 氧气离子化模型 | 第27-30页 |
| 2.1.2 气态水的影响 | 第30页 |
| 2.1.3 掺杂的影响 | 第30-31页 |
| 2.2 MOS 气体传感器一般表征特性 | 第31-35页 |
| 2.2.1 引言 | 第31-32页 |
| 2.2.2 气敏响应过程 | 第32-33页 |
| 2.2.3 灵敏度 | 第33页 |
| 2.2.4 选择性 | 第33-34页 |
| 2.2.5 温湿度影响 | 第34-35页 |
| 2.2.6 气体混合的影响 | 第35页 |
| 2.3 MOS 气体传感器测试分析 | 第35-42页 |
| 2.3.1 分压采样与传感器采样 | 第36-37页 |
| 2.3.2 噪声与误差分析 | 第37-42页 |
| 2.4 传感测试分析一体机设计 | 第42-59页 |
| 2.4.1 总体设计 | 第42-43页 |
| 2.4.2 硬件设计 | 第43-53页 |
| 2.4.3 软件设计 | 第53-56页 |
| 2.4.4 仪器实验 | 第56-59页 |
| 2.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第3章 MOS 气体传感器元件制备 | 第61-76页 |
| 3.1 引言 | 第61页 |
| 3.2 微加热板封装设计与制备 | 第61-70页 |
| 3.2.1 微加热板及封装总体设计 | 第61-63页 |
| 3.2.2 微加热板式结构参数 | 第63-64页 |
| 3.2.3 微加热板传热特性的有限元分析 | 第64-67页 |
| 3.2.4 制作工艺过程 | 第67-68页 |
| 3.2.5 传感器元件制作 | 第68-69页 |
| 3.2.6 微加热板热性能 | 第69-70页 |
| 3.3 基于 Fe2O3的 H2S 气体传感器 | 第70-74页 |
| 3.3.1 制备实验 | 第70页 |
| 3.3.2 分析 | 第70-72页 |
| 3.3.3 传感器性能测试 | 第72-74页 |
| 3.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 第4章 加热温度调制及其特征提取优化方法研究 | 第76-96页 |
| 4.1 温度调制的混合气体响应特征分析 | 第76-79页 |
| 4.1.1 温度调制的工作原理 | 第76-77页 |
| 4.1.2 温度调制混合气体响应特征分析 | 第77-79页 |
| 4.2 特征提取的优化与应用 | 第79-86页 |
| 4.2.1 特征参数的覆盖粗糙集约简优化方法 | 第79-83页 |
| 4.2.2 特征参数覆盖的自适应生成方法 | 第83-84页 |
| 4.2.3 特征参数约简应用举例 | 第84-85页 |
| 4.2.4 基于支持向量机的分类与回归估计 | 第85-86页 |
| 4.3 混合气体识别实验 | 第86-94页 |
| 4.3.1 实验样本 | 第86-87页 |
| 4.3.2 时域特征优化实验 | 第87-90页 |
| 4.3.3 小波时频域特征优化实验 | 第90-94页 |
| 4.4 本章小结 | 第94-96页 |
| 第5章 压缩气体源调制的传感增强、建模及仪器研究 | 第96-111页 |
| 5.1 概述 | 第96-97页 |
| 5.1.1 浓度响应性 | 第96-97页 |
| 5.1.2 压缩气体源调制的实现原理 | 第97页 |
| 5.2 压缩气源测试仪设计 | 第97-106页 |
| 5.2.1 总体分析 | 第97-98页 |
| 5.2.2 硬件设计 | 第98-100页 |
| 5.2.3 软件设计 | 第100-102页 |
| 5.2.4 漏气计算与分析 | 第102-106页 |
| 5.3 气敏响应的传感增强 | 第106-108页 |
| 5.3.1 实验 | 第106-108页 |
| 5.3.2 分析 | 第108页 |
| 5.4 响应曲线的简单模型 | 第108-110页 |
| 5.6 本章小结 | 第110-111页 |
| 结论 | 第111-113页 |
| 参考文献 | 第113-125页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和其他成果 | 第125-127页 |
| 致谢 | 第127页 |
