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准分子激光微加工光学系统研究

摘要第3-4页
ABSTRACT第4页
第1章 绪论第7-14页
    1.1 本课题的研究背景第7-8页
    1.2 微细加工技术第8-12页
    1.3 本论文的研究内容第12-14页
第2章 准分子激光的特点及微细加工方法的选择第14-18页
    2.1 准分子激光器第14页
    2.2 准分子激光特性分析第14-15页
    2.3 准分子激光微加工系统第15-16页
    2.4 准分子激光微加工的两种方式第16-17页
        2.4.1 激光直写技术第16-17页
        2.4.2 掩模投影蚀刻技术第17页
    2.5 准分子激光微加工的总体设计方案第17-18页
第3章 准分子激光均束系统的研究第18-34页
    3.1 准分子激光均束系统的选择第18-21页
        3.1.1 准分子激光均束方法第18-21页
    3.2 准分子激光均束系统的研究第21-32页
        3.2.1 望远镜系统第21-23页
        3.2.2 透镜阵列系统第23-28页
        3.3.3 均束系统封装第28-29页
        3.3.4 场镜第29-32页
    3.4 加工实验第32-33页
    3.5 本章小结第33-34页
第4章 准分子激光投影成像系统的研究第34-47页
    4.1 掩模投影系统的特点第34-35页
    4.2 成像物镜的设计第35-46页
        4.2.1 参数确定第35-37页
        4.2.2 像差校正方法第37页
        4.2.3 设计结果第37-42页
        4.2.5 加工图纸第42-46页
    4.3 加工实验第46页
    4.4 本章小结第46-47页
第5章 监控定位系统第47-58页
    5.1 监控定位系统的特点第47-52页
    5.2 监控系统设计方案第52-55页
    5.3 结果分析第55-57页
    5.4 本章小结第57-58页
结论第58-59页
参考文献第59-63页
附录第63-64页
致谢第64页

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