准分子激光微加工光学系统研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 本课题的研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 微细加工技术 | 第8-12页 |
| 1.3 本论文的研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 准分子激光的特点及微细加工方法的选择 | 第14-18页 |
| 2.1 准分子激光器 | 第14页 |
| 2.2 准分子激光特性分析 | 第14-15页 |
| 2.3 准分子激光微加工系统 | 第15-16页 |
| 2.4 准分子激光微加工的两种方式 | 第16-17页 |
| 2.4.1 激光直写技术 | 第16-17页 |
| 2.4.2 掩模投影蚀刻技术 | 第17页 |
| 2.5 准分子激光微加工的总体设计方案 | 第17-18页 |
| 第3章 准分子激光均束系统的研究 | 第18-34页 |
| 3.1 准分子激光均束系统的选择 | 第18-21页 |
| 3.1.1 准分子激光均束方法 | 第18-21页 |
| 3.2 准分子激光均束系统的研究 | 第21-32页 |
| 3.2.1 望远镜系统 | 第21-23页 |
| 3.2.2 透镜阵列系统 | 第23-28页 |
| 3.3.3 均束系统封装 | 第28-29页 |
| 3.3.4 场镜 | 第29-32页 |
| 3.4 加工实验 | 第32-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第4章 准分子激光投影成像系统的研究 | 第34-47页 |
| 4.1 掩模投影系统的特点 | 第34-35页 |
| 4.2 成像物镜的设计 | 第35-46页 |
| 4.2.1 参数确定 | 第35-37页 |
| 4.2.2 像差校正方法 | 第37页 |
| 4.2.3 设计结果 | 第37-42页 |
| 4.2.5 加工图纸 | 第42-46页 |
| 4.3 加工实验 | 第46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 监控定位系统 | 第47-58页 |
| 5.1 监控定位系统的特点 | 第47-52页 |
| 5.2 监控系统设计方案 | 第52-55页 |
| 5.3 结果分析 | 第55-57页 |
| 5.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
