| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 声表面波技术及声表面波器件的发展现状 | 第7-8页 |
| 1.2 声表面波滤波器的基本原理及发展现状 | 第8-13页 |
| 1.2.1 声表面波滤波器的基本原理 | 第8-11页 |
| 1.2.2 声表面波滤波器的发展现状 | 第11-13页 |
| 1.3 论文主要工作 | 第13-14页 |
| 第二章 声表面波滤波器理论基础 | 第14-37页 |
| 2.1 压电效应 | 第14-16页 |
| 2.2 声表面波的传播特性 | 第16-22页 |
| 2.3 叉指换能器的理论 | 第22-32页 |
| 2.3.1 栅单元 | 第22-24页 |
| 2.3.2 σ函数模型 | 第24-27页 |
| 2.3.3 COM理论 | 第27-32页 |
| 2.4 叉指换能器的结构设计 | 第32-37页 |
| 2.4.1 加权叉指换能器的设计 | 第32-35页 |
| 2.4.2 镜像阻抗连接叉指换能器的设计 | 第35-37页 |
| 第三章 GHz声表面波滤波器的设计及模拟仿真 | 第37-56页 |
| 3.1 GHz声表面波滤波器的总体结构设计 | 第37-41页 |
| 3.1.1 金刚石材料性质 | 第38-40页 |
| 3.1.2 金刚石多层薄膜结构声表面波滤波器的设计 | 第40-41页 |
| 3.2 GHz声表面波滤波器各层薄膜结构的参数设计 | 第41-44页 |
| 3.2.1 金刚石膜厚 | 第41-42页 |
| 3.2.2 氧化锌膜厚 | 第42-43页 |
| 3.2.3 金属层膜厚 | 第43-44页 |
| 3.3 叉指换能器结构的参数设计 | 第44-49页 |
| 3.3.1 加权叉指换能器的设计 | 第44-46页 |
| 3.3.2 镜像阻抗连接叉指换能器的设计 | 第46-49页 |
| 3.4 GHz声表面波滤波器的模拟仿真 | 第49-54页 |
| 3.4.1 加权叉指换能器结构滤波器的模拟仿真 | 第49-51页 |
| 3.4.2 镜像阻抗连接叉指换能器结构滤波器的模拟仿真 | 第51-54页 |
| 3.5 叉指换能器版图的制作 | 第54-56页 |
| 第四章 GHz声表面波滤波器的工艺实现 | 第56-75页 |
| 4.1 压电薄膜的制备及研究 | 第56-66页 |
| 4.1.1 ZnO薄膜的性质 | 第56-58页 |
| 4.1.2 硅上沉积ZnO薄膜 | 第58-61页 |
| 4.1.3 金刚石上沉积压电薄膜 | 第61-65页 |
| 4.1.4 硅上金刚石薄膜上沉积薄膜 | 第65-66页 |
| 4.2 叉指换能器电极的制备 | 第66-73页 |
| 4.2.1 ZnO/Si上制备叉指换能器电极 | 第67-71页 |
| 4.2.2 ZnO/Diamond上制备叉指换能器电极 | 第71-73页 |
| 4.3 引线键合 | 第73-75页 |
| 第五章 声表面波滤波器性能测试 | 第75-80页 |
| 5.1 声表面波滤波器测试方法 | 第75-76页 |
| 5.2 声表面波滤波器测试结果及分析 | 第76-80页 |
| 5.2.1 IDT/ZnO/Si上镜像阻抗连接结构滤波器的测试结果 | 第76-78页 |
| 5.2.2 IDT/ZnO/Diamond上的镜像阻抗连接结构滤波器的测试结果 | 第78-80页 |
| 第六章 总结和展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 附录 研究生在校期间发表学术论文情况 | 第86页 |
